mô-đun VME I/O số 0100-11002

Tổng quan

Nơi Xuất Xứ:	Hoa Kỳ
Tên thương hiệu:	AMAT
Số kiểu máy:	0100-11002
Chi tiết đóng gói:	Nguyên bản, mới, đóng gói nhà máy
Thời gian giao hàng:	5-7 ngày
Điều khoản thanh toán:	T\/T
Khả năng cung cấp:	Có sẵn

Chi tiết nhanh

Mô tả

AMAT 0100-11002 là một module I/O kỹ thuật số chuẩn VME do Applied Materials sản xuất. Bo mạch này là thành phần then chốt trong thiết bị sản xuất bán dẫn và thường được sử dụng trong các máy thuộc dòng Precision 5000 (P5000) cổ điển.

Tính năng nổi bật

Chức năng: Là bo mạch giao diện DI/DO (Đầu vào kỹ thuật số/Đầu ra kỹ thuật số), bo mạch này chịu trách nhiệm truyền tải và xử lý các tín hiệu điều khiển logic của máy.

Kiến trúc bus: Tuân theo tiêu chuẩn module VME/VXI và được tích hợp vào thân máy chính.

Thông số điện: Thường hoạt động ở điện áp 24 VDC; đèn LED tích hợp trên bo mạch giám sát trạng thái đầu vào/đầu ra.

Đặc tả

Ứng dụng

Được sử dụng rộng rãi trong thiết bị xử lý wafer 200 mm của Applied Materials, bao gồm các công cụ khắc (etching), lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng hơi vật lý (PVD):
Điều khiển thiết bị khắc
Mô-đun 0100-11002 được sử dụng để giao tiếp với các cảm biến, bộ phát tần số vô tuyến (RF), và bộ điều khiển lưu lượng khối (mass flow controllers) trong các hệ thống khắc wafer 200 mm. Mô-đun này giám sát các điều kiện quy trình như áp suất, lưu lượng khí và các thông số plasma, đồng thời điều khiển các cơ cấu chấp hành, van và hệ thống liên động (interlocks) theo thời gian thực nhằm đảm bảo độ chính xác cao cho hồ sơ khắc.
Công cụ lắng đọng hơi hóa học (CVD)
Trong các hệ thống CVD, mô-đun này quản lý tín hiệu số cho việc cung cấp khí, điều khiển nhiệt độ và xử lý chất nền. Các đầu vào cách ly quang (opto-isolated inputs) của nó bảo vệ bộ điều khiển chính khỏi nhiễu điện, đồng thời cung cấp khả năng giám sát đáng tin cậy các thông số quy trình then chốt. Các đầu ra số kích hoạt các bộ gia nhiệt, van khí và hệ thống bơm nhằm duy trì sự lắng đọng màng mỏng đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Hệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Đối với các công cụ PVD, tọa độ 0100-11002 xác định vị trí các nguồn lắng đọng, bơm chân không và cơ cấu quay mẫu nền. Cổng vào/ra số tốc độ cao cho phép đồng bộ hóa nhiều buồng, đảm bảo độ dày màng và độ đồng đều nhất quán trên các tấm wafer đường kính 200 mm.
Tích hợp thiết bị bán dẫn đa buồng
Kiến trúc bus VME/VXI của mô-đun cho phép tích hợp nhiều mô-đun 0100-11002 trong một khung gầm duy nhất. Khả năng mở rộng này cho phép điều khiển các hệ thống đa buồng, cung cấp đủ kênh vào/ra (I/O) cho cảm biến và cơ cấu chấp hành trong các thiết bị xử lý bán dẫn quy mô lớn.