EN
- সারসংক্ষেপ
- দ্রুত বিবরণ
- বিবরণ
- মূল বৈশিষ্ট্যসমূহ
- বিবরণ
- প্রয়োগ
- সুপারিশকৃত পণ্য
সারসংক্ষেপ
উৎপত্তি স্থান: |
মার্কিন যুক্তরাষ্ট্র |
ব্র্যান্ড নাম: |
AMAT |
মডেল নম্বর: |
0100-11002 |
প্যাকেজিংয়ের বিবরণ: |
মূল, নতুন, কারখানা সিলযুক্ত |
বিতরণের সময়: |
৫-৭ দিন |
পেমেন্ট শর্তাবলী: |
T⁄T |
সরবরাহ ক্ষমতা: |
স্টকে |
দ্রুত বিবরণ
|
বাস আর্কিটেকচার: |
ভিএমই / ভিএক্সআই মান |
|
ফাংশনঃ |
মেশিন লজিক কন্ট্রোল সিগন্যাল প্রেরণ ও প্রক্রিয়াকরণ |
|
ইনপুট ভোল্টেজ: |
24 ভিডিসি |
|
ডিজিটাল ইনপুট: |
১৬–৩২ চ্যানেল (অপটো-আইসোলেটেড) |
|
ডিজিটাল আউটপুট: |
১৬–৩২ চ্যানেল (রিলে বা ট্রানজিস্টর আউটপুট) |
|
ইনপুট/আউটপুট স্ট্যাটাস ইন্ডিকেটরগুলি: |
প্রতিটি ইনপুট/আউটপুট চ্যানেলের জন্য অনবোর্ড LED |
|
আকৃতির মাপ: |
৮×৮.৬×২৬.১ সেমি |
|
ওজন: |
০.৫ কেজি |
বিবরণ
AMAT 0100-11002 হল অ্যাপ্লায়েড ম্যাটেরিয়ালস কর্তৃক নির্মিত একটি ডিজিটাল ইনপুট/আউটপুট (I/O) VME মডিউল। এই বোর্ডটি অর্ধপরিবাহী উৎপাদন সরঞ্জামের একটি প্রধান উপাদান এবং সাধারণত ক্লাসিক প্রিসিশন ৫০০০ (P5000) সিরিজের মেশিনগুলিতে ব্যবহৃত হয়।
মূল বৈশিষ্ট্যসমূহ
কাজ: DI/DO (ডিজিটাল ইনপুট/ডিজিটাল আউটপুট) ইন্টারফেস বোর্ড হিসাবে, এটি মেশিনের লজিক নিয়ন্ত্রণ সংকেতগুলির সংক্রমণ ও প্রক্রিয়াকরণের দায়িত্বে থাকে।
বাস আর্কিটেকচার: VME/VXI মডিউল মান অনুসরণ করে এবং মেশিনের মেইনফ্রেমে একীভূত হয়।
বৈদ্যুতিক স্পেসিফিকেশন: সাধারণত ২৪ ভোল্ট ডিসি-তে কাজ করে; অনবোর্ড LED ইন্ডিকেটরগুলি ইনপুট/আউটপুট স্ট্যাটাস পর্যবেক্ষণ করে।
বিবরণ
|
অপারেটিং তাপমাত্রা: |
0°C থেকে 70°C |
|
সংরক্ষণ তাপমাত্রা： |
-20°C থেকে 85°C |
|
বিচ্ছেদ: |
ইনপুট ও আউটপুটের জন্য অপটিক্যাল বা বৈদ্যুতিক আইসোলেশন |
|
মাউন্টিং: |
VME 6U বা সামঞ্জস্যপূর্ণ চ্যাসিস স্লট |
|
সম্মতি: |
VME64 / VXI মান |
প্রয়োগ
এটি অ্যাপ্লাইড ম্যাটেরিয়ালসের ২০০ মিমি ওয়াফার প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে এটচিং, রাসায়নিক বাষ্প জমাকরণ (CVD) এবং ভৌত বাষ্প জমাকরণ (PVD) সরঞ্জাম অন্তর্ভুক্ত:
এটচিং সরঞ্জাম নিয়ন্ত্রণ
০১০০-১১০০২ মডিউলটি ২০০ মিমি ওয়াফার এটচিং সিস্টেমে সেন্সর, আরএফ জেনারেটর এবং মাস ফ্লো কন্ট্রোলারগুলির সাথে ইন্টারফেস করতে ব্যবহৃত হয়। এটি চাপ, গ্যাস প্রবাহ এবং প্লাজমা প্যারামিটার সহ প্রক্রিয়া শর্তগুলি মনিটর করে, একইসাথে অ্যাকচুয়েটর, ভাল্ভ এবং ইন্টারলকগুলিকে রিয়েল-টাইমে নিয়ন্ত্রণ করে যাতে সঠিক এটচিং প্রোফাইল নিশ্চিত করা যায়।
রাসায়নিক বাষ্প জমাকরণ (CVD) সরঞ্জাম
CVD সিস্টেমগুলিতে, এই মডিউলটি গ্যাস সরবরাহ, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং সাবস্ট্রেট হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ডিজিটাল সিগন্যাল পরিচালনা করে। এর অপটো-আইসোলেটেড ইনপুটগুলি মূল কন্ট্রোলারকে বৈদ্যুতিক শোরগুলি থেকে রক্ষা করে এবং গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া প্যারামিটারগুলির নির্ভরযোগ্য মনিটরিং প্রদান করে। ডিজিটাল আউটপুটগুলি হিটার, গ্যাস ভাল্ভ এবং পাম্প সিস্টেমগুলিকে ট্রিগার করে যাতে ওয়াফারগুলির উপর সমান পাতলা ফিল্ম জমাকরণ বজায় রাখা যায়।
ভৌত বাষ্প জমাকরণ (PVD) সিস্টেম
PVD টুলগুলির জন্য, 0100-11002 সমন্বয় জমাকরণ উৎস, ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং সাবস্ট্রেট ঘূর্ণন ব্যবস্থাগুলি নির্দেশ করে। উচ্চ-গতির ডিজিটাল I/O একাধিক চেম্বারের সমন্বয় সক্ষম করে, যা ২০০ মিমি ওয়াফারগুলিতে ফিল্মের সমান পুরুত্ব এবং একরূপতা নিশ্চিত করে।
বহু-চেম্বার অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম একীকরণ
মডিউলটির VME/VXI বাস আর্কিটেকচার একটি একক চ্যাসিসে একাধিক 0100-11002 মডিউলের একীকরণ সক্ষম করে। এই স্কেলযোগ্যতা বহু-চেম্বার সিস্টেমগুলির নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে এবং বৃহৎ আকারের অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে সেন্সর এবং অ্যাকচুয়েটরগুলির জন্য যথেষ্ট I/O চ্যানেল প্রদান করে।
