EN
- Yleiskatsaus
- Nopea yksityiskohtainen käsittely
- Kuvaus
- Avainominaisuudet
- Tekniset tiedot
- Sovellukset
- Suositellut tuotteet
Yleiskatsaus
Alkuperämaa: |
USA |
Merkkinimi: |
AMAT |
Mallinumero: |
0100-11002 |
Pakkaustiedot: |
Alkuperäinen uusi tehdasläpisevä |
Toimitusaika: |
5-7 päivää |
Maksuehdot: |
T\/T |
Toimituskyky: |
Varastossa |
Nopea yksityiskohtainen käsittely
|
Bussiarkkitehtuuri: |
VME/VXI-standardi |
|
Toiminto: |
Koneen logiikkasignaalien lähettäminen ja käsittely |
|
Syöttöjännite: |
24 VDC |
|
Digitaaliset tulot: |
16–32 kanavaa (optoisesti erotettu) |
|
Digitaaliset tulostulokset: |
16–32 kanavaa (relä- tai transistorilähtö) |
|
I/O-tilaindikaattorit: |
Kunkin syöttö-/lähtökanavan sisäänrakennetut LED-valot |
|
Kokoaminen: |
8 × 8,6 × 26,1 cm |
|
Paino: |
0.5 KG |
Kuvaus
AMAT 0100-11002 on Applied Materials -yrityksen valmistama digitaalinen I/O-VME-moduuli. Tämä kortti on keskeinen komponentti puolijohdevalmistuslaitteissa ja sitä käytetään yleisesti klassisissa Precision 5000 (P5000) -sarjan koneissa.
Avainominaisuudet
Toiminto: Digitaalisen syöttö-/lähtöliittimenä (DI/DO) se vastaa koneen logiikkasäätösignaalien siirrosta ja käsittelystä.
Bussiarkkitehtuuri: Noudattaa VME/VXI-moduulistandardeja ja on integroitu koneen pääkoteloon.
Sähköiset ominaisuudet: Toimii tyypillisesti 24 VDC-jännitteellä; sisäänrakennetut LED-indikaattorit seuraavat syöttö-/lähtötilaa.
Tekniset tiedot
|
Käyttölämpötila: |
0 °C – 70 °C |
|
Varastointilämpötila: |
-20 °C:sta 85 °C:een |
|
Erottaminen: |
Optinen tai sähköinen eristys syötteille ja lähdöille |
|
Asennus: |
VME 6U -tai yhteensopiva kotelopaikka |
|
Vaatimustenmukaisuus: |
VME64/VXI-standardit |
Sovellukset
Laajalti käytetty Applied Materialsin 200 mm:n piirisirujen käsittelylaitteissa, mukaan lukien etäisyyskäsitteet (etching), kemiallinen höyryfaasikertyminen (CVD) ja fysikaalinen höyryfaasikertyminen (PVD):
Etäisyyskäsitteiden ohjaus
Tuote 0100-11002 liittyy antureihin, RF-generaattoreihin ja massavirtasäätimiin 200 mm:n piirisirujen etäisyyskäsitteiden järjestelmissä. Se seuraa prosessiehtoja, kuten painetta, kaasuvirtaa ja plasma-parametrejä, samalla kun se ohjaa toimimoottoreita, venttiilejä ja turvakytkimiä reaaliajassa tarkkojen etäisyysprofiilien varmistamiseksi.
Kemialliset höyryfaasikertymislaitteet (CVD)
CVD-järjestelmissä moduuli hallinnoi digitaalisia signaaleja kaasun syöttöön, lämpötilan säätöön ja alustan käsittelyyn. Sen optoisesti erotetut tulot suojavat pääohjainta sähköiseltä kohinalta ja tarjoavat luotettavan seurannan kriittisille prosessiparametreille. Digitaaliset tulostulot aktivoidaan lämmittimiä, kaasuvventtiilejä ja pumpujärjestelmiä ohjaakseen yhtenäistä ohutta kalvoa muodostavaa kertymistä piirisirujen pinnalle.
Fysikaaliset höyryfaasikertymäjärjestelmät (PVD)
PVD-työkaluille koordinaatit 0100-11002 määrittävät sadoituslähteet, tyhjiöpumput ja alustan pyörähtämismekanismit. Korkeanopeusinen digitaalinen I/O mahdollistaa useiden kammion synkronoinnin, mikä varmistaa tasaisen kalvon paksuuden ja yhtenäisyyden 200 mm:n piirisilikoissa.
Monikammioisen puolijohdevarusteen integrointi
Moduulin VME/VXI-väyläarkkitehtuuri mahdollistaa useiden 0100-11002-moduulien integroinnin yhteen telakkaan. Tämä skaalautuvuus mahdollistaa monikammioisten järjestelmien ohjauksen ja tarjoaa riittävästi I/O-kanavia antureille ja toimilaitteille laajamittaisissa puolijohdeprosessointityökaluissa.
