EN
- Pregled
- Brzi pregled
- Opis
- Ključne karakteristike
- Specifikacije
- Primjene
- Preporučeni proizvodi
Pregled
Mjesto porijekla: |
SAD |
Naziv brenda: |
AMAT |
Broj modela: |
0100-11002 |
Detalji o pakiranju: |
Originalno novo, fabrički zapečaćeno |
Vrijeme dostave: |
5-7 dana |
Uslovi plaćanja: |
T/T |
Mogućnost ponude: |
Na stanju |
Brzi pregled
|
Arhitektura autobusa: |
VME / VXI standard |
|
Funkcija: |
Sistemi za upravljanje logikom mašine |
|
Ulazni napon: |
24 VDC |
|
Digitalni ulazi: |
1632 kanala (optoizolovana) |
|
Digitalni izlaz: |
1632 kanala (izlaz releja ili tranzistora) |
|
Indikatori stanja ulaza/izlaza: |
Ugrađeni LED-ovi za svaki ulazni/izlazni kanal |
|
Formni faktor: |
8x8,6x26,1cm |
|
Težina: |
0, 5 kg |
Opis
AMAT 0100-11002 je digitalni VME modul za ulazak/izlaz koji proizvodi Applied Materials. Ova ploča je ključna komponenta u opremi za proizvodnju poluprovodnika i obično se koristi u klasičnim mašinama serije Precision 5000 (P5000).
Ključne karakteristike
Funkcija: Kao DI/DO (Digital Input/Digital Output) interfejs ploča, odgovorna je za prenos i obradu mašinskih logičkih kontrolnih signala.
Arhitektura autobusa: Uzima standarde modula VME/VXI i integriran je u mainframe mašine.
Električne specifikacije: Obično radi na 24 VDC; ugrađeni LED indikatori prate ulazni/izlazni status.
Specifikacije
|
Temperatura rada: |
0°C do 70°C |
|
Temperatura čuvanja: |
-20°C do 85°C |
|
Izolacija: |
S druge dimenzije |
|
Uređaj za montažu: |
VME 6U ili kompatibilan slot za šasiju |
|
SPOREDNOST: |
VME64 / VXI standardi |
Primjene
Široko se koristi u opremi za obradu 200 mm obloga Aplikovanih materijala, uključujući alat za graviranje, hemijsko deponovanje pare (CVD) i fizičko deponovanje pare (PVD):
Kontrola uređaja za graviranje
0100-11002 se koristi za sučelje sa senzorima, RF generatorima i kontrolorima masovnog protoka u sistemima za graviranje 200 mm pločaka. Nadzoruje uslove procesa kao što su pritisak, protok gasa i parametri plazme, dok u realnom vremenu kontroliše aktuatore, ventile i zaključavanja kako bi se osigurali precizni profili etša.
Uređaji za hemijsko deponovanje pare (CVD)
U CVD sistemima, modul upravlja digitalnim signalima za isporuku gasa, kontrolu temperature i rukovanje supstratom. Njegovi optoizolovani ulazi štite glavni upravljač od električne buke, pružajući pouzdan nadzor kritičnih parametara procesa. Digitalni izlaz aktivira grejače, ventile za gas i pumpe kako bi se održala jednaka tanka folija na pločama.
Sistem za fizičku deponiju pare (PVD)
"Sistem za upravljanje" za "kompatibilnost" s "elektronskim" uređajima koji imaju sve sljedeće karakteristike: Visokim brzinama digitalni I/O omogućava sinhronizaciju više komora, osiguravajući dosljednu debljinu filma i jednakoću preko 200 mm pločica.
Integracija više-komorne poluprovodničke opreme
Arhitektura modula VME/VXI omogućava integraciju više modula 0100-11002 u jednu šasiju. Ova skalabilnost omogućava kontrolu višekamarnih sistema, pružajući dovoljno I/O kanala za senzore i aktuatore u velikim poluprovodničkim alatima za obradu.
