EN
- Prezentare generală
- Detalii rapide
- Descriere
- Caracteristici Cheie
- Specificații
- Aplicații
- Produse recomandate
Prezentare generală
Locul de origine: |
SUA |
Nume marcă: |
AMAT |
Număr model: |
0100-11002 |
Detalii de ambalare: |
Original, nou, sigilat de fabrică |
Termen de livrare: |
5-7 Zile |
Termeni de plată: |
T/T |
Capacitate de furnizare: |
În stoc |
Detalii rapide
|
Arhitectură de magistrală: |
Standard VME/VXI |
|
Funcție: |
Transmite și prelucrează semnalele de comandă logică ale mașinii |
|
Tensiune de intrare: |
24 VDC |
|
Intrări digitale: |
16–32 de canale (cu izolare optică) |
|
Ieșiri digitale: |
16–32 de canale (cu relee sau tranzistori) |
|
Indicatori de stare I/O: |
LED-uri integrate pentru fiecare canal de intrare/ieșire |
|
Factor de formă: |
8x8,6x26,1 cm |
|
Greutate: |
0, 5 kg |
Descriere
Modulul AMAT 0100-11002 este un modul VME digital I/O fabricat de Applied Materials. Această placă este un component esențial în echipamentele de fabricație a semiconductorilor și este frecvent utilizată în mașinile din seria clasică Precision 5000 (P5000).
Caracteristici Cheie
Funcție: Ca placă de interfață DI/DO (intrare digitală/ieșire digitală), este responsabilă cu transmiterea și prelucrarea semnalelor de comandă logică ale mașinii.
Arhitectură de magistrală: Adoptă standardele modulelor VME/VXI și este integrată în carcasă principală a mașinii.
Specificații electrice: Funcționează în mod tipic la 24 VCC; indicatorii LED integrati monitorizează starea intrărilor/ieșirilor.
Specificații
|
Temperatură de operare: |
0°C la 70°C |
|
Temperatura de stocare: |
-20°C până la 85°C |
|
Izolație: |
Izolare optică sau electrică pentru intrări și ieșiri |
|
Montare: |
Slot pentru carcasă VME 6U sau compatibilă |
|
Conformitate: |
Standardele VME64 / VXI |
Aplicații
Folosite pe scară largă în echipamentele Applied Materials pentru procesarea wafere-lor de 200 mm, inclusiv în utilaje pentru gravare, depunere chimică din fază de vapori (CVD) și depunere fizică din fază de vapori (PVD):
Controlul echipamentelor de gravare
Modulul 0100-11002 este utilizat pentru interfațarea cu senzori, generatoare RF și controlere de debit masic în sistemele de gravare a wafere-lor de 200 mm. Acesta monitorizează condițiile de proces, cum ar fi presiunea, debitul gazelor și parametrii plasma, în timp ce controlează în timp real actuatorii, supapele și sistemele de blocare pentru a asigura profiluri precise de gravare.
Utilaje pentru depunerea chimică din fază de vapori (CVD)
În sistemele CVD, modulul gestionează semnalele digitale pentru livrarea gazelor, controlul temperaturii și manipularea substratului. Intrările sale izolate optic protejează controllerul principal împotriva zgomotului electric, oferind în același timp o monitorizare fiabilă a parametrilor critici ai procesului. Ieșirile digitale declanșează încălzitoarele, supapele de gaz și sistemele de pompare pentru a menține o depunere uniformă a filmelor subțiri pe waferi.
Sisteme pentru depunerea fizică din fază de vapori (PVD)
Pentru uneltele PVD, coordonatele 0100-11002 identifică sursele de depunere, pompele de vid și mecanismele de rotație ale substratului. Intrările/ieșirile digitale de viteză ridicată permit sincronizarea mai multor camere, asigurând o grosime constantă a filmului și o uniformitate pe waferele de 200 mm.
Integrarea echipamentelor semiconductoare cu mai multe camere
Arhitectura modulelor pe magistrala VME/VXI permite integrarea mai multor module 0100-11002 într-un singur chassis. Această scalabilitate permite comanda sistemelor cu mai multe camere, oferind un număr suficient de canale I/O pentru senzori și actuatori în echipamentele de procesare semiconductoră la scară largă.
