0100-11002 Digital I/O VME Modyul

Pangkalahatang Paglalarawan

Pinagmulan:	USA
Pangalan ng Brand:	AMAT
Numero ng Modelo:	0100-11002
Mga Detalye ng Pakete:	Orihinal na bagong nakaselyad sa pabrika
Oras ng Pagpapadala:	5-7 araw
Mga Tuntunin sa Pagbabayad:	T/T
Kakayahang Mag-supply:	Nasa imbentaryo

Mabilis na Detalye

Paglalarawan

Ang AMAT 0100-11002 ay isang Digital I/O VME Module na ginawa ng Applied Materials. Ang board na ito ay isang pangunahing bahagi ng kagamitan sa pagmamanupaktura ng semiconductor at karaniwang ginagamit sa mga klasikong makina ng Precision 5000 (P5000) series.

Mga Pangunahing katangian

Tungkulin: Bilang isang DI/DO (Digital Input/Digital Output) interface board, ito ang responsable sa pagpapadala at pagproseso ng mga signal ng logic control ng makina.

Bus Architecture: Sumusunod sa mga pamantayan ng VME/VXI module at isinasama sa pangunahing chassis ng makina.

Mga Elektrikal na Tiyak: Karaniwang gumagana sa 24 VDC; ang mga onboard LED indicator ay nagsisilbing monitor ng estado ng input/output.

Mga teknikal na tukoy

Mga Aplikasyon

Malawakang ginagamit sa mga kagamitan ng Applied Materials para sa pagpoproseso ng 200 mm na wafer, kabilang ang mga kagamitan sa pag-etch, chemical vapor deposition (CVD), at physical vapor deposition (PVD):
Pangkontrol ng Kagamitan sa Pag-etch
Ginagamit ang 0100-11002 para makakonekta sa mga sensor, RF generator, at mass flow controller sa mga sistema ng pag-etch ng 200 mm na wafer. Sinusubaybayan nito ang mga kondisyon ng proseso tulad ng presyon, daloy ng gas, at mga parameter ng plasma, samantalang sinusugpo nito ang mga aktuator, valve, at interlock sa real time upang matiyak ang tiyak na hugis ng etch.
Mga Kagamitan sa Chemical Vapor Deposition (CVD)
Sa mga sistema ng CVD, pinamamahalaan ng modyul ang mga digital na signal para sa pagpapadala ng gas, kontrol ng temperatura, at paghawak sa substrate. Ang mga opto-isolated na input nito ay nagpaprotekta sa pangunahing controller mula sa electrical noise habang nagbibigay ng maaasahang pagsubaybay sa mga mahahalagang parameter ng proseso. Ang mga digital na output ay nag-trigger ng mga heater, gas valve, at pump system upang mapanatili ang pantay na deposito ng manipis na film sa buong mga wafer.
Mga Sistema ng Physical Vapor Deposition (PVD)
Para sa mga kagamitang PVD, ang mga koordinado ng 0100-11002 ay tumutukoy sa mga pinagmumulan ng deposisyon, mga bomba ng kawalan ng hangin, at mga mekanismo ng pag-ikot ng substrate. Ang mataas-na-bilis na digital na I/O ay nagpapahintulot sa pagsinkronisa ng maraming silid, na nagsisigurong pare-pareho ang kapal ng pelikula at ang pagkakapantay-pantay nito sa mga wafer na may sukat na 200 mm.
Pagsasama-sama ng Mga Kagamitang Pang-semento na May Maraming Silid
Ang arkitekturang VME/VXI bus ng module ay nagpapahintulot sa pagsasama-sama ng maraming module na 0100-11002 sa isang solong chassis. Ang kakayahang ito na palawakin ang sistema ay nagbibigay-daan sa pagkontrol ng mga sistemang may maraming silid, na nagbibigay ng sapat na bilang ng mga channel na I/O para sa mga sensor at aktuator sa malalaking kagamitang pangproseso ng semiconductor.