EN
- Overzicht
- Snelle detailweergave
- BESCHRIJVING
- Belangrijkste functies
- Specificaties
- Toepassingen
- Aanbevolen producten
Overzicht
Herkomstplaats: |
VS |
Merknaam: |
AMAT |
Modelnummer: |
0100-11002 |
Verpakkingsgegevens: |
Origineel nieuw, fabrieksverzegeld |
Levertijd: |
5–7 dagen |
Betalingsvoorwaarden: |
T/T |
Levercapaciteit: |
Op voorraad |
Snelle detailweergave
|
Busarchitectuur: |
VME/VXI-standaard |
|
Functie: |
Verzenden en verwerken van machine logica besturingssignalen |
|
Ingangsspanning: |
24 VDC |
|
Digitale ingangen: |
16–32 kanalen (optisch geïsoleerd) |
|
Digitale uitgangen: |
16–32 kanalen (relais- of transistoruitgang) |
|
I/O-statusindicatoren: |
Ingebouwde LED's voor elk ingangs-/uitgangskanaal |
|
Formfactor: |
8x8,6x26,1 cm |
|
Gewicht: |
0,5 kg |
BESCHRIJVING
De AMAT 0100-11002 is een digitale I/O-VME-module vervaardigd door Applied Materials. Deze kaart is een belangrijke component in apparatuur voor de productie van halfgeleiders en wordt veel gebruikt in de klassieke Precision 5000 (P5000)-seriemachines.
Belangrijkste functies
Functie: Als DI/DO-interfacekaart (digitale ingang/digitale uitgang) is deze verantwoordelijk voor de overdracht en verwerking van logische besturingssignalen van de machine.
Busarchitectuur: Volgt de VME/VXI-modulestandaarden en is geïntegreerd in het hoofdkast van de machine.
Elektrische specificaties: Werkt meestal op 24 VDC; ingebouwde LED-indicatoren bewaken de status van ingangen en uitgangen.
Specificaties
|
Bedrijfstemperatuur: |
0°C tot 70°C |
|
Bewaartemperatuur: |
-20°c tot 85°c |
|
Isolatie: |
Optische of elektrische isolatie voor ingangen en uitgangen |
|
Montage: |
VME 6U- of compatibele chassis-sleuf |
|
Naleving: |
VME64-/VXI-standaarden |
Toepassingen
Wijd gebruikt in de 200 mm-waferverwerkingsapparatuur van Applied Materials, waaronder etch-, chemische dampafzetting- (CVD-) en fysieke dampafzetting- (PVD-) systemen:
Besturing van etchapparatuur
De 0100-11002 wordt gebruikt om te communiceren met sensoren, RF-generatoren en massastroomregelaars in 200 mm-waferetchsystemen. Hij bewaakt procesomstandigheden zoals druk, gasstroom en plasma-parameters, terwijl hij in real time actuators, kleppen en veiligheidsvergrendelingen aanstuurt om nauwkeurige etchprofielen te garanderen.
Chemische dampafzetting- (CVD-) systemen
In CVD-systemen beheert de module digitale signalen voor gasaanvoer, temperatuurregeling en substraathandling. De optisch geïsoleerde ingangen beschermen de hoofdcontroller tegen elektrische ruis en zorgen tegelijkertijd voor betrouwbare bewaking van kritieke procesparameters. Digitale uitgangen activeren verwarmingselementen, gaskleppen en pompsystemen om een uniforme dunne-filmdeposities op de wafers te handhaven.
Fysieke dampafzetting- (PVD-) systemen
Voor PVD-gereedschappen coördineert de 0100-11002 de afzettingsbronnen, vacuümpompen en de substraatrotatiemechanismen. Digitale hoog-snelheids-I/O maakt synchronisatie van meerdere kamers mogelijk, wat zorgt voor een consistente filmdikte en uniformiteit op 200 mm-wafers.
Integratie van halfgeleiderapparatuur met meerdere kamers
De VME/VXI-busarchitectuur van de module maakt integratie van meerdere 0100-11002-modules in één chassis mogelijk. Deze schaalbaarheid stelt u in staat om systemen met meerdere kamers te besturen en biedt voldoende I/O-kanalen voor sensoren en actuatoren in grootschalige halfgeleiderverwerkingsapparatuur.
