EN
- Genel Bakış
- Hızlı Detaylı Bilgi
- Açıklama
- Temel Özellikler
- Özellikler
- Uygulamalar
- Önerilen Ürünler
Genel Bakış
Menşei Yeri: |
ABD |
Marka Adı: |
AMAT |
Model Numarası: |
0100-11002 |
Paketleme Detayları: |
Orijinal yeni Fabrika Mühürü |
Teslim Süresi: |
5-7 Gün |
Ödeme Şartları: |
T\/T |
Tedarik Yeteneği: |
Stokta |
Hızlı Detaylı Bilgi
|
Veri Yolu Mimarisi: |
VME / VXI Standardı |
|
İşlev: |
Makine mantık kontrol sinyallerini iletmek ve işlemek |
|
Giriş Gerilimi: |
24 VDC |
|
Dijital Girişler: |
16–32 kanal (optik izoleli) |
|
Dijital Çıkışlar: |
16–32 kanal (röle veya transistör çıkışı) |
|
G/Ç Durumu Göstergeleri: |
Her giriş/çıkış kanalı için dahili LED'ler |
|
Form Faktörü: |
8x8,6x26,1 cm |
|
Ağırlık: |
0,5 kg |
Açıklama
AMAT 0100-11002, Applied Materials tarafından üretilen dijital G/Ç VME modülüdür. Bu kart, yarı iletken üretim ekipmanlarında önemli bir bileşen olup genellikle klasik Precision 5000 (P5000) serisi makinelerde kullanılır.
Temel Özellikler
Fonksiyon: DI/DO (Dijital Giriş/Dijital Çıkış) arayüz kartı olarak makine mantık kontrol sinyallerinin iletiminden ve işlenmesinden sorumludur.
Veri Yolu Mimarisi: VME/VXI modül standartlarını benimser ve makinenin ana gövdesine entegre edilir.
Elektriksel Özellikler: Genellikle 24 VDC ile çalışır; dahili LED göstergeler giriş/çıkış durumunu izler.
Özellikler
|
Çalışma Sıcaklığı: |
0°C ile 70°C arasında |
|
Depolama sıcaklığı: |
-20°C'den 85°C'ye kadar |
|
Morphing: |
Girişler ve çıkışlar için optik veya elektriksel izolasyon |
|
Montaj: |
VME 6U veya uyumlu şasi yuvası |
|
Uyum: |
VME64 / VXI Standartları |
Uygulamalar
Uygulamalı Malzemeler (Applied Materials) şirketinin 200 mm'lik yonga işleme ekipmanlarında, özellikle aşındırma (etching), kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) sistemlerinde yaygın olarak kullanılır:
Aşındırma Ekipmanı Kontrolü
0100-11002 modeli, 200 mm’lik yonga aşındırma sistemlerinde sensörlerle, RF jeneratörleriyle ve kütle akış kontrol cihazlarıyla arayüz oluşturmak için kullanılır. Basınç, gaz akışı ve plazma parametreleri gibi süreç koşullarını izlerken, hassas aşındırma profillerini sağlamak amacıyla aktüatörleri, vanaları ve kilitleme devrelerini gerçek zamanlı olarak kontrol eder.
Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Sistemleri
CVD sistemlerinde modül, gaz verimi, sıcaklık kontrolü ve altlık taşıma işlemleri için dijital sinyalleri yönetir. Optik izolasyonlu girişleri, ana denetleyiciyi elektriksel gürültüden korurken kritik süreç parametrelerinin güvenilir izlenmesini sağlar. Dijital çıkışlar, ısıtıcıları, gaz vanalarını ve pompalama sistemlerini tetikleyerek yongalar üzerinde homojen ince film biriktirmeyi sürdürür.
Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) Sistemleri
PVD araçları için 0100-11002 koordinatları, biriktirme kaynaklarını, vakum pompalarını ve altlık döndürme mekanizmalarını tanımlar. Yüksek hızlı dijital G/Ç, birden fazla kamerayı senkronize etmeye olanak tanır ve böylece 200 mm’lik yongalarda tutarlı film kalınlığı ile homojenliği sağlar.
Çok Kamaralı Yarı İletken Ekipman Entegrasyonu
Modülün VME/VXI veri yolu mimarisi, tek bir kasaya birden fazla 0100-11002 modülünün entegre edilmesine olanak tanır. Bu ölçeklenebilirlik, çok kamaralı sistemlerin kontrolünü sağlar ve büyük ölçekli yarı iletken işleme ekipmanlarında sensörler ve aktüatörler için yeterli G/Ç kanalları sunar.
