0100-11002 Digitální I/O VME modul

Přehled

Místo původu:	USA
Obchodní značka:	AMAT
Číslo modelu:	0100-11002
Podrobnosti balení:	Původní nové, továrně uzavřené
Doba dodání:	5–7 dní
Platební podmínky:	T/T
Dodací schopnost:	Skladem

Rychlý přehled

Architektura sběrnice:	Standard VME/VXI
Funkce:	Přenos a zpracování řídicích signálů stroje
Vstupní napětí:	24 VDC
Digitální vstupy:	16–32 kanálů (opticky oddělené)
Digitální výstupy:	16–32 kanálů (reléový nebo tranzistorový výstup)
Indikátory stavu vstupů/výstupů:	Na palubě jsou LED pro každý kanál vstupu/výstupu
Tvarový faktor:	8 × 8,6 × 26,1 cm
Hmotnost:	0.5 kg

POPIS

AMAT 0100-11002 je digitální VME modul vstupů/výstupů vyrobený společností Applied Materials. Tato deska je klíčovou součástí zařízení pro výrobu polovodičů a běžně se používá v klasických strojích řady Precision 5000 (P5000).

Klíčové vlastnosti

Funkce: Jako rozhraní DI/DO (digitální vstup/digitální výstup) zajišťuje přenos a zpracování signálů logického řízení stroje.

Architektura sběrnice: Používá standardy modulů VME/VXI a je integrována do hlavní jednotky stroje.

Elektrické parametry: Obvykle pracuje při napětí 24 V DC; na palubních LED indikátorech je sledován stav vstupů/výstupů.

Technické údaje

Provozní teplota:	0 °C až 70 °C
Skladovací teplota:	-20°C do 85°C
Oddělení:	Optická nebo elektrická izolace vstupů a výstupů
Montáž:	Slot pro VME 6U nebo kompatibilní skříň
Soulad:	Standardy VME64/VXI

Použití

Široce používané v zařízeních Applied Materials pro zpracování 200 mm polovodičových destiček, včetně systémů pro leptání, chemické parní usazování (CVD) a fyzikální parní usazování (PVD):
Řízení zařízení pro leptání
Modul 0100-11002 se používá k propojení se senzory, RF generátory a regulátory průtoku hmoty v systémech pro leptání 200 mm polovodičových destiček. Sleduje provozní podmínky, jako je tlak, průtok plynů a parametry plazmatu, a zároveň v reálném čase řídí akční členy, ventily a bezpečnostní závazky, aby byly zajištěny přesné profily leptání.
Systémy pro chemické parní usazování (CVD)
V systémech CVD modul spravuje digitální signály pro dodávku plynů, řízení teploty a manipulaci s podložkami. Jeho opticky izolované vstupy chrání hlavní řídicí jednotku před elektrickým šumem a zároveň umožňují spolehlivé sledování kritických provozních parametrů. Digitální výstupy aktivují topné prvky, plynové ventily a čerpadlové systémy, aby bylo zajištěno rovnoměrné usazování tenkých vrstev na polovodičových destičkách.
Systémy pro fyzikální parní usazování (PVD)
U nástrojů pro PVD určují souřadnice 0100-11002 zdroje usazování, vývěvy a mechanismy rotace substrátu. Vysokorychlostní digitální vstupy/výstupy umožňují synchronizaci více komor, čímž se zajišťuje konzistentní tloušťka vrstvy a její rovnoměrnost na křemíkových deskách o průměru 200 mm.
Integrace polovodičového zařízení s více komorami
Architektura sběrnice VME/VXI modulu umožňuje integraci více modulů 0100-11002 do jednoho šasi. Tato škálovatelnost umožňuje řízení systémů s více komorami a poskytuje dostatečný počet vstupně-výstupních kanálů pro senzory a akční členy v polovodičových zpracovacích zařízeních velkého rozsahu.