digitální VME modul vstupů/výstupů 0100-11002

Přehled

Místo původu:	USA
Název značky:	AMAT
Typ modelu:	0100-11002
Podrobnosti o obalu:	Originální nový, továrně zalepený
Dodací doba:	5-7 dní
Podmínky platby:	T/T
Dodací schopnost:	Skladem

Rychlý detail

Popis

AMAT 0100-11002 je digitální VME modul vstupů/výstupů vyrobený společností Applied Materials. Tato deska je klíčovou součástí zařízení pro výrobu polovodičů a běžně se používá v klasických strojích řady Precision 5000 (P5000).

Klíčové vlastnosti

Funkce: Jako rozhraní DI/DO (digitální vstup/digitální výstup) zajišťuje přenos a zpracování signálů logického řízení stroje.

Architektura sběrnice: Používá standardy modulů VME/VXI a je integrována do hlavní jednotky stroje.

Elektrické parametry: Obvykle pracuje při napětí 24 V DC; na palubních LED indikátorech je sledován stav vstupů/výstupů.

Specifikace

Použití

Široce používané v zařízeních Applied Materials pro zpracování 200 mm polovodičových destiček, včetně systémů pro leptání, chemické parní usazování (CVD) a fyzikální parní usazování (PVD):
Řízení zařízení pro leptání
Modul 0100-11002 se používá k propojení se senzory, RF generátory a regulátory průtoku hmoty v systémech pro leptání 200 mm polovodičových destiček. Sleduje provozní podmínky, jako je tlak, průtok plynů a parametry plazmatu, a zároveň v reálném čase řídí akční členy, ventily a bezpečnostní závazky, aby byly zajištěny přesné profily leptání.
Systémy pro chemické parní usazování (CVD)
V systémech CVD modul spravuje digitální signály pro dodávku plynů, řízení teploty a manipulaci s podložkami. Jeho opticky izolované vstupy chrání hlavní řídicí jednotku před elektrickým šumem a zároveň umožňují spolehlivé sledování kritických provozních parametrů. Digitální výstupy aktivují topné prvky, plynové ventily a čerpadlové systémy, aby bylo zajištěno rovnoměrné usazování tenkých vrstev na polovodičových destičkách.
Systémy pro fyzikální parní usazování (PVD)
U nástrojů pro PVD určují souřadnice 0100-11002 zdroje usazování, vývěvy a mechanismy rotace substrátu. Vysokorychlostní digitální vstupy/výstupy umožňují synchronizaci více komor, čímž se zajišťuje konzistentní tloušťka vrstvy a její rovnoměrnost na křemíkových deskách o průměru 200 mm.
Integrace polovodičového zařízení s více komorami
Architektura sběrnice VME/VXI modulu umožňuje integraci více modulů 0100-11002 do jednoho šasi. Tato škálovatelnost umožňuje řízení systémů s více komorami a poskytuje dostatečný počet vstupně-výstupních kanálů pro senzory a akční členy v polovodičových zpracovacích zařízeních velkého rozsahu.