EN
- Жалпы маалымат
- Тез детальдар
- СИПАТТАМА
- Негизги өзгөчөлүктөр
- Техникалык өлчөмдөр
- Колдонулар
- Сунуш кылынган өнүмдөр
Жалпы маалымат
Происхождение: |
АҚШ |
Бренддин аталышы: |
AMAT |
Модель номери: |
0100-11002 |
Таңгактоо чоо-жайы: |
Оригинал жаңы, зааваттан бекитилген |
Жеткирүү убактысы: |
5-7 күн |
Төлөм шарттары: |
T/T |
Көрсөтүү мүмкүнчүлүгү: |
Бар көлбөсөнде |
Тез детальдар
|
Шина архитектурасы: |
VME / VXI стандарты |
|
Функциясы: |
Машина логикасын башкаруу сигналдарын жөнөтүп, иштетет |
|
Киргизуучу уол: |
24 VDC |
|
Санактык киргизүүлөр: |
16–32 канал (опто-изоляцияланган) |
|
Сандык чыгыштар: |
16–32 канал (реле же транзистор чыгыны) |
|
Кире-чыгыш статусу көрсөткүчтөрү: |
Ар бир кире-чыгыш каналы үчүн борбордук плата үстүндөгү LED индикаторлор |
|
Форма-фактор: |
8×8,6×26,1 см |
|
Салмагы: |
0.5 кг |
СИПАТТАМА
AMAT 0100-11002 — Applied Materials компаниясы тарабынан чыгарылган цифровой кире-чыгыш VME модулунун башка аталышы. Бул плата жарым өткүргүчтөрдү өндүрүү үчүн колдонулган машиналардын негизги компоненти болуп саналат жана классикалык Precision 5000 (P5000) сериясындагы машиналарда кеңири колдонулат.
Негизги өзгөчөлүктөр
Функциясы: DI/DO (цифровой кире-чыгыш) интерфейс платасы катары ал машина логикасынын башкаруу сигналдарын өткөрүү жана иштетүү үчүн жооптуу.
Шина архитектурасы: VME/VXI модулунун стандартдарын колдонот жана машина корпусуна интеграцияланган.
Электрдык техникалык өзгөчөлүктөрү: Адатта 24 В DC токта иштейт; плата үстүндөгү LED индикаторлор кире-чыгыш статусун көрсөтөт.
Техникалык өлчөмдөр
|
Иштөө температурасы: |
0°C–70°C |
|
Сактоо температурасы: |
-20°C–85°C |
|
Изоляция: |
Кире-чыгыштар үчүн оптикалык же электрдик изоляция |
|
Орнотуу: |
VME 6U же совместимый шасси слоту |
|
Талаптар: |
VME64 / VXI стандартдары |
Колдонулар
200 мм кристаллдык пластиналарды иштетүү үчүн Applied Materials компаниясынын жабдыктарында кеңири колдонулат, анын ичинде: эчилүү, химиялык бурун-чөкмө (CVD) жана физикалык бурун-чөкмө (PVD) түзүлүштөрү:
Эчилүү жабдыгынын башкаруусу
0100-11002 модулунун 200 мм кристаллдык пластиналарды эчилүү системаларында сенсорлорго, RF генераторлорго жана массалык агымды башкаруучуларга (MFC) кошулуу үчүн колдонулат. Ал басым, газ агымы жана плазма параметрлери сыяктуу технологиялык шарттарды көзөмөлдөйт, ошондой эле актюаторлорду, клапандарды жана блокирловду чыныгы убакытта башкарып, так эчилүү профилдерин камсыз кылат.
Химиялык бурун-чөкмө (CVD) түзүлүштөрү
CVD системаларында модул цифровой сигналдарды газ берүүгө, температураны башкарууга жана субстратты иштетүүгө башкарат. Анын оптотолук изоляцияланган киргизүүлөрү негизги контроллерди электр шуулуунан коргойт жана технологиялык процесс параметрлерин надеждуу көзөмөлдөөнү камсыз кылат. Цифровой чыгыптар жылыткычтарды, газ клапандарын жана насос системаларын иштетет, кристаллдык пластиналар боюнча бирдей жупчулук чөкмөсүн сактоо үчүн.
Физикалык бурун-чөкмө (PVD) системалары
PVD-инструменттер үчүн 0100-11002 координаталары чөпкө түшүрүү булактарын, вакуумдук насосдорду жана субстраттын айлануу механизмдерин белгилейт. Жогорку тездиктеги цифровой I/O бир нече камераханы синхрондоого мүмкүндүк берет, бул 200 мм чыбыктын үстүнөн түзүлгөн пленканын калыңдыгын жана бирдигин камсыз кылат.
Көпкамералуу жарым өткүргүчтүк тезиси интеграциясы
Модулдун VME/VXI шина архитектурасы бир гана шассидин ичинде бир нече 0100-11002 модулдарын интеграциялоого мүмкүндүк берет. Бул масштабдалуучулук көпкамералуу системаларды башкарууга мүмкүндүк берет жана ири масштабдагы жарым өткүргүчтүк иштетүү тезистеринде сенсорлор жана актюаторлор үчүн жетиштүү I/O каналдарын камсыз кылат.
