EN
- Ikhtisar
- Detil Cepat
- Deskripsi
- Fitur Utama
- Spesifikasi
- Aplikasi
- Produk yang Direkomendasikan
Ikhtisar
Tempat Asal: |
Amerika Serikat |
Nama Merek: |
AMAT |
Nomor Model: |
0100-11002 |
Detail Kemasan: |
Baru, Segel Pabrik Asli |
Waktu Pengiriman: |
5-7 hari |
Ketentuan Pembayaran: |
T/T |
Kemampuan Penyediaan: |
Tersedia |
Detil Cepat
|
Arsitektur Bus: |
Standar VME/VXI |
|
Fungsi: |
Mengirimkan dan memproses sinyal kontrol logika mesin |
|
Tegangan Input: |
24 VDC |
|
Input Digital: |
16–32 saluran (terisolasi opto) |
|
Keluaran Digital: |
16–32 saluran (output relay atau transistor) |
|
Indikator Status I/O: |
LED terpasang pada setiap saluran input/output |
|
Faktor Bentuk: |
8x8,6x26,1 cm |
|
Berat: |
0.5 KG |
Deskripsi
AMAT 0100-11002 adalah Modul I/O Digital VME yang diproduksi oleh Applied Materials. Papan ini merupakan komponen kunci dalam peralatan manufaktur semikonduktor dan umumnya digunakan pada mesin seri Precision 5000 (P5000) klasik.
Fitur Utama
Fungsi: Sebagai papan antarmuka DI/DO (Input Digital/Output Digital), papan ini bertanggung jawab atas transmisi dan pemrosesan sinyal kontrol logika mesin.
Arsitektur Bus: Mengadopsi standar modul VME/VXI dan terintegrasi ke dalam rangka utama mesin.
Spesifikasi Listrik: Umumnya beroperasi pada tegangan 24 VDC; indikator LED terpasang memantau status input/output.
Spesifikasi
|
Suhu Operasi: |
0°C hingga 70°C |
|
Suhu penyimpanan: |
-20°c sampai 85°c |
|
Isolasi: |
Isolasi optik atau elektrik untuk input dan output |
|
Pemasangan: |
Slot chassis VME 6U atau yang kompatibel |
|
Kepatuhan: |
Standar VME64/VXI |
Aplikasi
Banyak digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer 200 mm milik Applied Materials, termasuk peralatan etsa, deposisi uap kimia (CVD), dan deposisi uap fisik (PVD):
Kontrol Peralatan Etsa
Modul 0100-11002 digunakan untuk berinterfase dengan sensor, generator RF, dan pengontrol aliran massa dalam sistem etsa wafer 200 mm. Modul ini memantau kondisi proses seperti tekanan, aliran gas, dan parameter plasma, sekaligus mengendalikan aktuator, katup, dan interlock secara real time guna memastikan profil etsa yang presisi.
Peralatan Deposisi Uap Kimia (CVD)
Dalam sistem CVD, modul ini mengelola sinyal digital untuk pengiriman gas, pengendalian suhu, dan penanganan substrat. Masukan terisolasi optiknya melindungi pengontrol utama dari gangguan listrik sekaligus memberikan pemantauan andal terhadap parameter proses kritis. Keluaran digital mengaktifkan pemanas, katup gas, dan sistem pompa untuk menjaga keseragaman deposisi lapisan tipis di seluruh permukaan wafer.
Sistem Deposisi Uap Fisik (PVD)
Untuk peralatan PVD, koordinat 0100-11002 mengatur sumber deposisi, pompa vakum, dan mekanisme rotasi substrat. Masukan/keluaran digital berkecepatan tinggi memungkinkan sinkronisasi beberapa ruang proses, memastikan ketebalan lapisan dan keseragaman yang konsisten pada wafer berdiameter 200 mm.
Integrasi Peralatan Semikonduktor Multi-Ruang Proses
Arsitektur bus VME/VXI modul ini memungkinkan integrasi beberapa modul 0100-11002 dalam satu chasis tunggal. Skalabilitas ini memungkinkan pengendalian sistem multi-ruang proses, menyediakan jumlah saluran masukan/keluaran (I/O) yang cukup untuk sensor dan aktuator dalam peralatan pemrosesan semikonduktor skala besar.
