- အကြ overview
- အမြန်အသေးစိတ်
- ဖော်ပြချက်
- အဓိက လက္ခဏာများ
- သတ်မှတ်ချက်များ
- အသုံးပြုမှုများ
- အကြံပေးထားသော ထုတ်ကုန်များ
အကြ overview
မူရင်းနေရာ: |
အမေရိကန်ပြည်ထောင်စု |
ဘရုံဒ်နာမည်: |
AMAT |
မိုဒယ်နံပါတ်: |
0100-11002 |
ပို့ဆောင်ရေးအသေးစိတ်များ: |
မူရင်းအသစ် စက်ရုံဖြင့်ပိတ်ပေးထားခြင်း |
ပို့ဆောင်မှုကာလ |
၅-၇ ရက် |
ငွေပေးချေရာသီးခြား: |
T⁄T |
ပျံ့နှံ့မှု: |
စတော့ရှိသည် |
အမြန်အသေးစိတ်
|
ဘတ်စ် အာကိတ်ခ်တဲက်ခ်: |
VME / VXI စံနှုန်း |
|
အလုပ်အကိုင်: |
စက်မှု လော်ဂစ် ထိန်းချုပ်မှု စိတ်ကြိုက်မှုများကို ပို့လွှတ်ခြင်းနှင့် ဖြစ်စေခြင်း |
|
Input voltage ကို |
24 VDC |
|
ဒစ်ဂျစ်တယ် အင်ပုတ်များ |
၁၆–၃၂ ခုန်သော ခုန်လေးများ (အော်ပ်တို-အသွေးခွဲထားသည်) |
|
ဒစ်ဂျစ်တယ် အထွက်များ: |
၁၆–၃၂ ခုန်သော ခုန်လေးများ (ရিলে သို့မဟုတ် ထရာန်စစ်တာ အော်တ်ပုတ်) |
|
I/O အခြေအနေညွှန်ပ indicators: |
အထည့်/အထုတ် ခုန်လေးတွင် အသုံးပြုသည့် အိုင်အက်စ်ဒီများ |
|
ပုံသဏ္ဍာန် |
8x8.6x26.1 စင်တီမီတာ |
|
အလေးချိန် - |
၀.၅ KG |
ဖော်ပြချက်
AMAT 0100-11002 သည် Applied Materials မှ ထုတ်လုပ်သည့် ဒစ်ဂျစ်တယ် I/O VME မော်ဂျူးဖြစ်သည်။ ဤဘုတ်သည် ဆီမီကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုစက်ကွမ်းများတွင် အရေးကြီးသည့် အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး ရှေးဟောင်း Precision 5000 (P5000) စီးရီးစက်များတွင် အသုံးများသည်။
အဓိက လက္ခဏာများ
လုပ်ဆောင်ချက် - DI/DO (ဒစ်ဂျစ်တယ်အထည့်/ဒစ်ဂျစ်တယ်အထုတ်) အင်တာဖေးစ်ဘုတ်အဖြစ် စက်၏ မှုန်းသည့် ထိန်းချုပ်မှု စိတ်ကြောင်းများကို လွှင့်ပေးခြင်းနှင့် အသုံးပြုခြင်းတွင် တာဝန်ရှိသည်။
ဘတ်စ် အာကိုက်တေက်ချာ - VME/VXI မော်ဂျူးစံနှုန်းများကို အသုံးပြုပြီး စက်၏ အဓိက မော်ဒျူးတွင် ပေါင်းစပ်ထည့်သွင်းထားသည်။
လျှပ်စစ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ - ပုံမှန်အားဖြင့် 24VDC တွင် အလုပ်လုပ်ပြီး ဘုတ်ပေါ်ရှိ LED ညွှန်ပ indicators များဖြင့် အထည့်/အထုတ် အခြေအနေများကို စောင်းကြည့်နိုင်သည်။
သတ်မှတ်ချက်များ
|
လည်ပတ်မှု အပူချိန်: |
0°C မှ 70°C |
|
သိုလှောင်မှု အပူချိန် |
-20°C မှ 85°C |
|
ကာကွယ်ခြင်း: |
အထည့်နှင့် အထုတ်များအတွက် အလင်းရောင် သို့မဟုတ် လျှပ်စစ် ခွဲခြားမှု |
|
ထိုင်ခြင်း: |
VME 6U သို့မဟုတ် လိုက်ဖက်သော chassis slot |
|
ကိုက်ညီမှု: |
VME64 / VXI စံနှုန်းများ |
အသုံးပြုမှုများ
Applied Materials ၏ 200mm wafer processing equipment များတွင် ကျယ်ပြန့်စွာအသုံးပြုထားသည်၊ အသားတင်ခြင်း၊ ဓာတုငွေ့အတင် (CVD) နှင့် ရုပ်ပိုင်းငွေ့အတင် (PVD) ကိရိယာများအပါအဝင်။
Etching ကိရိယာ ထိန်းချုပ်မှု
0100-11002 ကို 200 mm wafer etching စနစ်များတွင် အာရုံခံကိရိယာများ၊ RF generator များနှင့် အလုံးရေစီးဆင်းမှု ထိန်းချုပ်ရေးကိရိယာများနှင့် interface အသုံးပြုသည်။ ၎င်းသည် ဖိအား၊ ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုနှင့် ပလပ်စမာ ပါမစ်တာများကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ် အခြေအနေများကို စောင့်ကြည့်ပြီး တိကျသော etch profiles များကို အာမခံရန်အတွက် actuators များ၊ valves များနှင့် interlocks များကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ ထိန်းချုပ်သည်။
ဓာတုငွေ့ဖြန်းခြင်း (CVD) ကိရိယာများ
CVD စနစ်များတွင် မော်ဂျူးသည် ဓာတ်ငွေ့ပို့ဆောင်မှု၊ အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုနှင့် အုတ်ခံလွှာ ကိုင်တွယ်မှုအတွက် ဒစ်ဂျစ်တယ် အချက်ပြမှုများကို စီမံခန့်ခွဲသည်။ ၎င်းရဲ့ opto-isolated input တွေဟာ အဓိက ထိန်းချုပ်ရေးကိရိယာကို လျှပ်စစ်အသံကနေ ကာကွယ်ပေးလျက် အရေးပါတဲ့ လုပ်ငန်းစဉ် ပါမစ်တာတွေကို ယုံကြည်စိတ်ချရတဲ့ စောင့်ကြည့်မှုကို ပေးပါတယ်။ ဒစ်ဂျစ်တယ်ထွက်ပေါက်တွေက အပူပေးစက်တွေ၊ ဓာတ်ငွေ့ဗို့အားတွေ၊ ပန့်စနစ်တွေကို လှိုင်းပြားတွေအကြားမှာ တစ်သမတ်တည်းပါးပါးပါးပါးအလွှာကို ထိန်းသိမ်းဖို့ လှုံ့ဆော်ပါတယ်။
Physical Vapor Deposition (PVD) စနစ်များ
PVD ကိရိယာများအတွက် 0100-11002 သည် သုံးစွဲမှုနေရာများ၊ ဗာကျူမ်ပန်းမ်များနှင့် စူဘ်စထရိတ်လှည့်ပတ်မှုစနစ်များကို ညှိပေးပါသည်။ အမြန်နှုန်းမြင့် ဒစ်ဂျစ်တယ် I/O သည် ခန်းများစွာကို တစ်ပါတည်း ညှိပေးနိုင်ပြီး 200 mm ဝိဖ်များပေါ်တွင် ပုံစံအတိအကျနှင့် ညီညွတ်မှုရှိသော ပုံလွှာအထူကို အာမခံပေးပါသည်။
ခန်းများစွာပါဝင်သော ဆီမီကွန်ဒတ်တာပိုမ်းပစ္စည်းများ ပေါင်းစပ်ခြင်း
ဤမော်ဂျူး၏ VME/VXI ဘော့စ် ဗ်ုန်းအာကိုခ်တ်က်ခ်ရှိန်းသည် ခုနှစ်ခုများစွာသော 0100-11002 မော်ဂျူးများကို ခုနှစ်ခုတွင် ပေါင်းစပ်နိုင်စေပါသည်။ ဤစကေးလေးဘီလီတီသည် ခန်းများစွာပါဝင်သော စနစ်များကို ထိန်းချုပ်နိုင်စေပြီး ကြီးမားသော ဆီမီကွန်ဒတ်တာ စီမံခန်းများတွင် စနစ်များနှင့် လှုပ်ရှားမှုများအတွက် လုံလောက်သော I/O ခုနှစ်များကို ပေးစေပါသည်။