- Шолу
- Жылдам мәліметтер
- Сипаттама
- Негізгі Ерекшеліктер
- Сәйкестіктер
- Қолданбалар
- Ұсынылатын өнімдер
Шолу
Шығу орны: |
АҚШ |
Бренд атауы: |
AMAT |
Модель нөмірі: |
0100-11002 |
Пакеттау мәліметтері: |
Таза жаңа Фабрикалық Жауапсыздандырылған |
Жеткізу уақыты: |
5-7 күн |
Төлем шарттары: |
T/T |
Тамыр көбейтудің мүмкіндігі: |
Сапарда |
Жылдам мәліметтер
|
Шина архитектурасы: |
VME / VXI стандарты |
|
Функциясы: |
Машина логикасының басқару сигналдарын беру және өңдеу |
|
Кіріс кернеуі: |
24 VDC |
|
Сандық кірістер: |
16–32 канал (оптоизоляцияланған) |
|
Сандық шығыстар: |
16–32 канал (реле немесе транзисторлық шығыс) |
|
Кіріс/шығыс көрсеткіштері: |
Әрбір кіріс/шығыс каналы үшін тақтада орналасқан LED индикаторлар |
|
Пішін факторы: |
8×8,6×26,1 см |
|
Салмағы: |
0.5 кг |
Сипаттама
AMAT 0100-11002 — Applied Materials компаниясының шығарған цифрлық кіріс/шығыс VME модулі. Бұл плата жартылай өткізгіштік өндірістік жабдықтарда негізгі компонент болып табылады және кеңінен қолданылатын Precision 5000 (P5000) сериясының классикалық машиналарында қолданылады.
Негізгі Ерекшеліктер
Қызметі: DI/DO (цифрлық кіріс/цифрлық шығыс) интерфейс тақтасы ретінде ол машина логикасын басқару сигналдарын беру мен өңдеуден жауапты.
Шина архитектурасы: VME/VXI модулінің стандарттарын қабылдайды және машина негізгі блогына интеграцияланған.
Электрлық сипаттамалары: Әдетте 24 В тұрақты токта жұмыс істейді; тақтадағы LED индикаторлар кіріс/шығыс күйін бақылайды.
Сәйкестіктер
|
Жұмыс температурасы: |
0°C – 70°C |
|
Сақтау температуры: |
-20°C – 85°C |
|
Изоляция: |
Кірістер мен шығыстар үшін оптикалық немесе электрлік изоляция |
|
Маулеттеу: |
VME 6U немесе сәйкес келетін шасси слоты |
|
Сәйкестік: |
VME64 / VXI стандарттары |
Қолданбалар
Applied Materials компаниясының 200 мм өлшемдегі пластиналарды өңдеу жабдықтарында, соның ішінде травлеу, химиялық булану (CVD) және физикалық булану (PVD) құрылғыларында кеңінен қолданылады:
Травлеу жабдығын басқару
0100-11002 нөмірлі модуль 200 мм өлшемдегі пластиналарды травлеу жүйелерінде датчиктермен, ЖЖ генераторларымен және массалық ағыс реттегіштермен (MFC) өзара әрекеттесуге арналған. Ол қысым, газ ағысы және плазма параметрлері сияқты технологиялық шарттарды бақылайды, сонымен қатар дәл травлеу профилдерін қамтамасыз ету үшін актюаторларды, клапандарды және қорғаныс блоктауыштарды нақты уақыт режимінде басқарады.
Химиялық булану (CVD) құрылғылары
CVD жүйелерінде бұл модуль газ беруі, температураны реттеу және субстратты өңдеу үшін цифрлық сигналдарды басқарады. Оның оптожарық изоляцияланған кірістері негізгі басқарушыны электрлік шуға қарсы қорғайды және маңызды технологиялық параметрлерді сенімді түрде бақылауға мүмкіндік береді. Цифрлық шығыстар қыздырғыштарды, газ клапандарын және сорғы жүйелерін іске қосады, олар пластиналар бойынша біркелкі жұқа қабаттардың шөгуін қамтамасыз етеді.
Физикалық булану (PVD) жүйелері
PVD құралдары үшін 0100-11002 координаталары шөгінділердің көздерін, вакуумдық сорғыларды және субстраттың айналу механизмдерін анықтайды. Жоғары жылдамдықты цифрлық кіріс/шығыс көптеген камераларды синхрондауға мүмкіндік береді, бұл 200 мм пластиналар бойынша тұрақты жұқалық пен біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Көпкамералы жартылай өткізгіштік жабдықтарының интеграциясы
Модульдің VME/VXI шинасы архитектурасы бір ғана шасси ішінде бірнеше 0100-11002 модулін интеграциялауға мүмкіндік береді. Бұл масштабталу қабілеті көпкамералы жүйелерді басқаруды қамтамасыз етеді және ірі масштабды жартылай өткізгіштік өңдеу құралдарындағы датчиктер мен атқарушы құрылғылар үшін жеткілікті кіріс/шығыс каналдарын ұсынады.