EN
- Gambaran Keseluruhan
- Butiran Cepat
- Penerangan
- Ciri-ciri Utama
- Spesifikasi
- Aplikasi
- Produk yang Disyorkan
Gambaran Keseluruhan
Tempat Asal: |
USA |
Nama Jenama: |
AMAT |
Nombor Model: |
0100-11002 |
Butir-butir Pemakanan: |
Baru Asal, Disediakan Kilang |
Masa Penghantaran: |
5-7 hari |
Syarat Pembayaran: |
T/T |
Kemampuan Bekalan: |
Dalam stok |
Butiran Cepat
|
Arkitektur Bas: |
Piawaian VME / VXI |
|
Fungsi: |
Menghantar dan memproses isyarat kawalan logik mesin |
|
Voltan Masukan: |
24 VDC |
|
Input Digital: |
16–32 saluran (diasingkan secara optik) |
|
Output Digital: |
16–32 saluran (output reley atau transistor) |
|
Penunjuk Status I/O: |
LED terpasang pada setiap saluran input/output |
|
Faktor Bentuk: |
8x8.6x26.1 cm |
|
Berat: |
0.5 kg |
Penerangan
AMAT 0100-11002 ialah Modul I/O Digital VME yang dikeluarkan oleh Applied Materials. Papan ini merupakan komponen utama dalam peralatan pembuatan semikonduktor dan biasanya digunakan dalam siri mesin klasik Precision 5000 (P5000).
Ciri-ciri Utama
Fungsi: Sebagai papan antara muka DI/DO (Input Digital/Output Digital), ia bertanggungjawab terhadap penghantaran dan pemprosesan isyarat kawalan logik mesin.
Arkitektur Bas: Menggunakan piawaian modul VME/VXI dan diintegrasikan ke dalam rangka utama mesin.
Spesifikasi Elektrik: Biasanya beroperasi pada 24 VDC; penunjuk LED terpasang memantau status input/output.
Spesifikasi
|
Suhu operasi: |
0°C hingga 70°C |
|
Suhu penyimpanan: |
-20°C hingga 85°C |
|
Pemisahan: |
Pengasingan optik atau elektrik untuk input dan output |
|
Pemasangan: |
Slot chasis VME 6U atau bersesuaian |
|
Pematuhan: |
Piawaian VME64 / VXI |
Aplikasi
Digunakan secara meluas dalam peralatan pemprosesan wafer 200 mm buatan Applied Materials, termasuk alat pengetchan, pengendapan wap kimia (CVD), dan pengendapan wap fizikal (PVD):
Kawalan Peralatan Pengetchan
Model 0100-11002 digunakan untuk bersambung dengan sensor, penjana RF, dan pengawal aliran jisim dalam sistem pengetchan wafer 200 mm. Ia memantau keadaan proses seperti tekanan, aliran gas, dan parameter plasma, sambil mengawal aktuator, injap, dan sistem saling kunci secara masa nyata untuk memastikan profil pengetchan yang tepat.
Alat Pengendapan Wap Kimia (CVD)
Dalam sistem CVD, modul ini mengurus isyarat digital bagi penghantaran gas, kawalan suhu, dan pengendalian substrat. Input berisolasi optiknya melindungi pengawal utama daripada hingar elektrik sambil memberikan pemantauan yang boleh dipercayai terhadap parameter proses kritikal. Output digital mengaktifkan pemanas, injap gas, dan sistem pam untuk mengekalkan pengendapan lapisan nipis yang seragam di atas wafer.
Sistem Pengendapan Wap Fizikal (PVD)
Bagi alat PVD, koordinat 0100-11002 mengendalikan sumber pengendapan, pam vakum, dan mekanisme putaran substrat. Input/Output digital berkelajuan tinggi membolehkan penyelarasan beberapa ruang proses, memastikan ketebalan lapisan dan keseragaman yang konsisten merentasi wafer berdiameter 200 mm.
Integrasi Peralatan Semikonduktor Berbilang-Ruang
Arkitektur bas VME/VXI modul ini membolehkan integrasi beberapa modul 0100-11002 dalam satu chasis tunggal. Skalabiliti ini membolehkan kawalan sistem berbilang-ruang, menyediakan saluran I/O yang mencukupi untuk sensor dan aktuator dalam peralatan pemprosesan semikonduktor berskala besar.
