EN
- Ամփոփում
- Արագ մանրամասն
- Նկարագրություն
- Հիմնական առանձնահատկություններ
- Սպեցիֆիկացիաներ
- Կիրառումներ
- Առաջարկվող արտադրանքներ
Ամփոփում
Ծագման վայր: |
ԱՄՆ |
Անունը՝ |
AMAT |
Մոդելի համարը՝ |
0100-11002 |
Պատվիրման մանրամասները. |
Ընդօրինակ նոր, գործարանային կնքված |
Առաքման ժամանակ: |
5-7 օր |
Վճարման պայմանները. |
T/T |
Մատակարարման կարողություն: |
Պահեստում |
Արագ մանրամասն
|
Բասի ճարտարապետություն. |
VME/VXI ստանդարտ |
|
Գործառույթ. |
Մեքենայի տրամաբանական կառավարման սիգնալների հաղորդում և մշակում |
|
Մուտքային Voltաժ: |
24 VDC |
|
Թվային մուտքեր. |
16–32 առաջին միջակայք (օպտոիզոլյացված) |
|
Թվային ելքեր. |
16–32 առաջին միջակայք (ռելե կամ տրանզիստորային ելք) |
|
Մուտքային/ելքային ստատուսի ցուցիչներ. |
Յուրաքանչյուր մուտքային/ելքային առաջադրանքի համար ներդրված LED-ներ |
|
Ձևաչափ. |
8×8,6×26,1 սմ |
|
Քաշ՝ |
0.5 KG |
Նկարագրություն
AMAT 0100-11002-ը Applied Materials ընկերության կողմից արտադրված թվային մուտքային/ելքային VME մոդուլ է: Այս պլատաձև սարքը կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումների հիմնական բաղադրիչն է և հաճախ օգտագործվում է դասական Precision 5000 (P5000) շարքի մեքենաներում:
Հիմնական առանձնահատկություններ
Ֆունկցիա՝ Որպես DI/DO (թվային մուտք/թվային ելք) ինտերֆեյսային սարք, այն պատասխանատու է մեքենայի տրամաբանական կառավարման սիգնալների փոխանցման և մշակման համար:
Բասի ճարտարապետություն՝ Ընդունում է VME/VXI մոդուլների ստանդարտները և ինտեգրված է մեքենայի հիմնական մարմնի մեջ:
Էլեկտրական սպեցիֆիկացիաներ՝ Սովորաբար աշխատում է 24 Վ մշտադենսով. ներդրված LED ցուցիչները հսկում են մուտքային/ելքային ստատուսը:
Սպեցիֆիկացիաներ
|
Աշխատանքային ջերմաստիճան |
0°C–70°C |
|
Պահեստավորման ջերմաստիճան |
-20°C–ից մինչև 85°C |
|
Իզոլյացիա՝ |
Մուտքերի և ելքերի համար օպտիկական կամ էլեկտրական իզոլյացիա |
|
Մոնտաժում: |
VME 6U կամ համատեղելի շասիի սլոտ |
|
Համաձայնություն՝ |
VME64 / VXI ստանդարտներ |
Կիրառումներ
Լայնորեն օգտագործվում է Applied Materials ընկերության 200 մմ վաֆերների մշակման սարքավորումներում, այդ թվում՝ գրավորագրման, քիմիական գոլորշիացման (CVD) և ֆիզիկական գոլորշիացման (PVD) սարքերում.
Գրավորագրման սարքավորումների կառավարում
0100-11002 մոդուլը օգտագործվում է 200 մմ վաֆերների գրավորագրման համակարգերում սենսորների, RF գեներատորների և զանգվածային հոսքի կարգավորիչների հետ միացման համար: Այն վերահսկում է ճնշումը, գազի հոսքը և պլազմայի պարամետրերը, միաժամանակ իրական ժամանակում կառավարելով ակտյուատորները, փականները և անվտանգության միջոցները՝ ապահովելու ճշգրիտ գրավորագրման պրոֆիլներ:
Քիմիական գոլորշիացման (CVD) սարքեր
CVD համակարգերում մոդուլը կառավարում է գազի մատակարարման, ջերմաստիճանի կարգավորման և սուբստրատի մշակման համար նախատեսված թվային սիգնալները: Դրա օպտոիզոլյացված մուտքերը պաշտպանում են հիմնական կառավարիչը էլեկտրական աղմուկից՝ ապահովելով կրիտիկական գործընթացային պարամետրերի հուսալի վերահսկումը: Թվային ելքերը ակտիվացնում են ջերմային սարքերը, գազային փականները և պոմպային համակարգերը՝ վաֆերների վրա համասեռ բարակ թաղանթի նստեցման պահպանման համար:
Ֆիզիկական գոլորշիացման (PVD) համակարգեր
PVD գործիքների համար 0100-11002 կոորդինատային սարքավորումը կառավարում է նստեցման աղբյուրները, վակուումային պոմպերը և սուբստրատի պտտման մեխանիզմները: Բարձրարագության թվային I/O-ն թույլ է տալիս միաժամանակյա կառավարել մի քանի խցիկ՝ ապահովելով 200 մմ վաֆերների վրա ֆիլմի համաչափ հաստություն և համասեռություն:
Մի քանի խցիկ ունեցող կիսահաղորդիչային սարքավորումների ինտեգրում
Մոդուլի VME/VXI ավտոմատացված բասի ճարտարապետությունը հնարավորություն է տալիս մեկ շասսիի մեջ ինտեգրել մի քանի 0100-11002 մոդուլ: Այս մասշտաբավորելիությունը թույլ է տալիս կառավարել մի քանի խցիկ ունեցող համակարգեր՝ ապահովելով բավարար թվով I/O առաջին աստիճանի միացման կետեր զգայիչների և կատարող մեխանիզմների համար մեծ մասշտաբի կիսահաղորդիչային մշակման սարքավորումներում:
