EN
- ຂໍ້ມູນທົ່ວໄປ
- ລາຍລະອຽດດ່ວນ
- ຄຳອະທິບາຍ
- ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນ
- ຂໍ້ກຳນົດ
- ການນຳໃຊ້
- ຜະລິດຕະພັນທີ່ແນະນຳ
ຂໍ້ມູນທົ່ວໄປ
ທີ່ມາ: |
ສະຫະລັດອາເມລິກາ |
ชื่อแบรนด์: |
AMAT |
หมายเลขรุ่น: |
0100-11002 |
ລາຍລະອຽດການເ泰国: |
ແທ້ໝົດ, ຜະລິດຈາກໂຮງງານຜູກມັດ |
ເວລາຈັດສົ່ງ: |
5-7 ວັນ |
ສິນທີ່ຈ່າຍ: |
T/T |
ຄວາມສາມາດໃນການສະໜອງ: |
ມີສິນຄ້າໃນສາງ |
ລາຍລະອຽດດ່ວນ
|
ສະຖາປັດຕະຍາເຄື່ອງຈັກ: |
ມາດຕະຖານ VME / VXI |
|
ຫນ້າທີ່: |
ສົ່ງແລະປະມວນຜົນສັນຍານຄວບຄຸມເຄື່ອງຈັກ |
|
ແຮງດັນເຂົ້າ: |
24 VDC |
|
ການປ້ອນຂໍ້ມູນດິຈິຕອນ: |
16–32 ຊ່ວງ (ມີການແຍກດ້ວຍໄຟຟ້າ) |
|
ເຄື່ອງອອກສັນຍາດິຈິຕອລ: |
16–32 ຊ່ວງ (ອອກຜ່ານຮີເລ, ຫຼື ຕົວຕ້ານທາງໄຟຟ້າ) |
|
ຕົວຊີ້ບອກສະຖານະການ I/O: |
LED ຕິດຕັ້ງຢູ່ເທິງບ່ອນເຮັດວຽກສຳລັບແຕ່ລະຊ່ອງຂໍ້ມູນເຂົ້າ/ອອກ |
|
ຮູບຮ່າງ: |
8x8.6x26.1 ແຊງຕີເມືອ |
|
ນ້ຳໜັກ: |
0.5 ກິໂກ |
ຄຳອະທິບາຍ
AMAT 0100-11002 ແມ່ນເປັນໂມດູນ Digital I/O VME ທີ່ຜະລິດໂດຍ Applied Materials. ແຜ່ນນີ້ເປັນສ່ວນປະກອບທີ່ສຳຄັນໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຊມີຄອນດູເຄີເຕີ ແລະ ໃຊ້ງານຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຄື່ອງຈັກຊຸດ Precision 5000 (P5000) ລຸ້ນດັ້ງເດີມ.
ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນ
ຫນ້າທີ່: ເປັນບ່ອນຕໍ່ສຳລັບຂໍ້ມູນເຂົ້າ/ອອກດິຈິຕອນ (DI/DO), ມີໜ້າທີ່ຮັບຜິດຊອບການສົ່ງຜ່ານ ແລະ ປະມວນຜົນສັນຍານຄວບຄຸມເຫດຜົນຂອງເຄື່ອງຈັກ.
ສະຖາປັດຕະຍາເຄື່ອງຈັກ: ນຳໃຊ້ມາດຕະຖານໂມດູນ VME/VXI ແລະ ສອດຄ່ອງເຂົ້າກັບເຄື່ອງຈັກຫຼັກ.
ຂໍ້ກຳນົດດ້ານໄຟຟ້າ: ມັກຈະເຮັດວຽກທີ່ 24 VDC; ຕົວຊີ້ບອກ LED ຢູ່ເທິງບ່ອນເຮັດວຽກຈະສັງເກດສະຖານະການຂໍ້ມູນເຂົ້າ/ອອກ.
ຂໍ້ກຳນົດ
|
ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກ: |
0°C ຫາ 70°C |
|
ອຸນຫະພູມການຮັກษา: |
-20°C ຫາ 85°C |
|
ການแยก離開: |
ການແຍກດ້ວຍແສງ ຫຼື ດ້ວຍໄຟຟ້າສຳລັບຂໍ້ມູນເຂົ້າ ແລະ ອອກ |
|
ການຕິດຕັ້ງ: |
ຊ່ອງເຄື່ອງຈັກ VME 6U ຫຼື ເຄື່ອງຈັກທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ |
|
ການປະກັນຄຸນ: |
ມາດຕະຖານ VME64 / VXI |
ການນຳໃຊ້
ໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸປະກອນຂະບວນການແຜ່ນວົງຈອນ 200 ມມ ຂອງ Applied Materials, ລວມທັງອຸປະກອນການກັດເຊີງ, ການສ້າງຟິລມ໌ດ້ວຍການທຳເນີນການດ້ວຍໄອທາງເຄມີ (CVD), ແລະ ການສ້າງຟິລມ໌ດ້ວຍໄອທາງຟີຊິກ (PVD):
ການຄວບຄຸມອຸປະກອນກັດເຊີງ
ແມ່ນເຄື່ອງຈັກ 0100-11002 ນີ້ຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອເຊື່ອມຕໍ່ກັບເຊັນເຊີ, ເຄື່ອງສ້າງສັນຍານ RF, ແລະ ອຸປະກອນຄວບຄຸມການຫຼືນຂອງກາຊ (mass flow controllers) ໃນລະບົບກັດເຊີງແຜ່ນວົງຈອນ 200 ມມ. ມັນຕິດຕາມສະພາບການຂະບວນການເຊັ່ນ: ຄວາມກົດດັນ, ການຫຼືນຂອງກາຊ, ແລະ ພາລາມິເຕີຂອງພາສມາ (plasma), ໃນຂະນະທີ່ຄວບຄຸມອຸປະກອນປັບປຸງ (actuators), ວາວ (valves), ແລະ ລະບົບປ້ອງກັນ (interlocks) ໃນເວລາຈິງ ເພື່ອຮັບປະກັນຮູບຮ່າງການກັດເຊີງທີ່ຖືກຕ້ອງ.
ອຸປະກອນການສ້າງຟິລມ໌ດ້ວຍການທຳເນີນການດ້ວຍໄອທາງເຄມີ (CVD)
ໃນລະບົບ CVD, ເຄື່ອງຈັກນີ້ຈັດການສັນຍານດິຈິຕອນສຳລັບການສົ່ງກາຊ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ແລະ ການຈັດການແຜ່ນວົງຈອນ. ສັນຍານເຂົ້າທີ່ມີການແຍກດ້ວຍແສງ (opto-isolated inputs) ປ້ອງກັນຄອມພິວເຕີຫຼັກຈາກສຽງທາງໄຟຟ້າ ແລະ ໃຫ້ການຕິດຕາມທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຕໍ່ພາລາມິເຕີຂະບວນການທີ່ສຳຄັນ. ສັນຍານອອກດິຈິຕອນເປີດໃຊ້ເຄື່ອງເຮັດຮ້ອນ, ວາວກາຊ, ແລະ ລະບົບປັ້ມເພື່ອຮັກສາການສ້າງຟິລມ໌ທີ່ເທົ່າທຽມກັນທົ່ວທັງແຜ່ນວົງຈອນ.
ລະບົບການສ້າງຟິລມ໌ດ້ວຍໄອທາງຟີຊິກ (PVD)
ສຳລັບເຄື່ອງມື PVD, ພິກັດ 0100-11002 ກຳນົດຕຳແໜ່ງຂອງແຫຼ່ງການທີ່ໃຊ້ໃນການທົດລອງ, ປັ້ມສຸຍາ, ແລະ ເຄື່ອງຈັກທີ່ໃຊ້ໃນການປັ່ນວຽນວັດຖຸທີ່ຈະເຮັດການທົດລອງ. ການປ້ອນ-ສົ່ງຂໍ້ມູນດິຈິຕອນຄວາມໄວສູງຊ່ວຍໃຫ້ເຄື່ອງຈັກຫຼາຍຫ້ອງທຳງານຮ່ວມກັນໄດ້ຢ່າງເປັນເວລາ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໜາຂອງຊັ້ນຟິລມແລະຄວາມເປັນເອກະພາບທົ່ວທັງເວັຟເຟີ 200 ມມ.
ການບູລະນາການອຸປະກອນເຊມີຄອນດູເຄີເຕີຫຼາຍຫ້ອງ
ສະຖາປະນາຂອງບັດ VME/VXI ຂອງມໍດູນນີ້ເຮັດໃຫ້ສາມາດບູລະນາການມໍດູນ 0100-11002 ເປັນຈຳນວນຫຼາຍເຂົ້າໃນເຄື່ອງຈັກດຽວກັນ. ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍຂອງມໍດູນນີ້ເຮັດໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມລະບົບຫຼາຍຫ້ອງໄດ້, ແລະ ສະຫຼາດໃຫ້ມີຊ່ອງ I/O ພຽງພໍສຳລັບເຊັນເຊີ ແລະ ອຸປະກອນຂັບເຄື່ອນໃນເຄື່ອງມືປຸງແຕ່ງເຊມີຄອນດູເຄີເຕີຂະໜາດໃຫຍ່.
