EN
- Apžvalga
- Greita informacija
- Aprašymas
- Pagrindinės savybės
- Techninės sąlygos
- Taikymo sritys
- Rekomenduojami produktai
Apžvalga
Gamtos vieta: |
JAV |
Prekės ženklas: |
AMAT |
Modelio numeris: |
0100-11002 |
Packaging Details: |
Originalus naujas gamykliniu būdu užsandarintas |
Pristatymo laikas: |
5-7 dienų |
Mokėjimo sąlygos: |
T/T |
Priežiūros galimybė: |
Sandėlyje |
Greita informacija
|
Magistralės architektūra: |
VME / VXI standartas |
|
Funkcija: |
Perduoda ir apdoroja mašinos loginius valdymo signalus |
|
Įvesties voltas: |
24 VDC |
|
Skaitmeniniai įėjimai: |
16–32 kanalai (optiškai izoliuoti) |
|
Skaitmeniniai išvadai: |
16–32 kanalai (relės arba tranzistoriaus išėjimai) |
|
Įėjimo/išėjimo būsenos indikatoriai: |
Kiekvieno įėjimo/išėjimo kanalo įmontuoti LED indikatoriai |
|
Formos faktorius: |
8 × 8,6 × 26,1 cm |
|
Svoris: |
0,5 kg |
Aprašymas
AMAT 0100-11002 – tai skaitmeninio įėjimo/išėjimo VME modulis, gamintas „Applied Materials“. Ši plokštė yra pagrindinis puslaidininkių gamybos įrangos komponentas ir dažnai naudojama klasikinėse „Precision 5000“ (P5000) serijos mašinose.
Pagrindinės savybės
Funkcija: kaip DI/DO (skaitmeninio įėjimo/skaitmeninio išėjimo) sąsajos plokštė, ji atlieka mašinos loginių valdymo signalų perdavimą ir apdorojimą.
Magistralės architektūra: naudoja VME/VXI modulių standartus ir integruojama į mašinos pagrindinį korpusą.
Elektrinės charakteristikos: paprastai veikia 24 V nuolatinės srovės įtampa; įmontuoti LED indikatoriai stebi įėjimo/išėjimo būseną.
Techninės sąlygos
|
Darbo temperatūra: |
0°C iki 70°C |
|
Saugojimo temperatūra: |
–20 °C iki 85 °C |
|
Izoliacija: |
Optinis arba elektrinis įėjimų ir išėjimų izoliavimas |
|
ĮMONTAVIMAS: |
VME 6U arba suderinamas korpuso lizdas |
|
Atitiktis: |
VME64 / VXI standartai |
Taikymo sritys
Plačiai naudojami Applied Materials įrangos, skirtos 200 mm plokštelėms apdoroti, įskaitant šalinimo (etching), cheminio garinio nuosėdų nusodinimo (CVD) ir fizinio garinio nuosėdų nusodinimo (PVD) įrenginius:
Šalinimo įrangos valdymas
0100-11002 modulis naudojamas sąsajai su jutikliais, RF generatoriais ir masės srauto reguliatoriais 200 mm plokštelių šalinimo sistemose. Jis stebi procesų sąlygas, pvz., slėgį, dujų srautą ir plazmos parametrus, tuo pat metu realiuoju laiku valdydamas vykdomuosius mechanizmus, voztuvus ir saugos įtaisus, kad būtų užtikrintos tikslūs šalinimo profiliai.
Cheminio garinio nuosėdų nusodinimo (CVD) įrenginiai
CVD sistemose šis modulis tvarko skaitmeninius signalus dujų padavimui, temperatūros valdymui ir plokštelių tvarkymui. Jo optiškai izoliuoti įėjimai apsaugo pagrindinį valdiklį nuo elektros triukšmo, tuo pat metu užtikrindami patikimą kritinių procesų parametrų stebėseną. Skaitmeniniai išėjimai aktyvina šildytuvus, dujų voztuvus ir siurblių sistemas, kad būtų išlaikytas vienodas plonų plėvelių nusodinimas visose plokštelėse.
Fizinio garinio nuosėdų nusodinimo (PVD) sistemos
Dėl PVD įrankių, 0100-11002 koordinuoja nuosėdų šaltinius, vakuumo siurblius ir pogrudžio sukimosi mechanizmus. Didelės našumo skaitmeniniai įėjimai/išėjimai leidžia sinchronizuoti kelis kambarius, užtikrinant nuoseklią plėvelės storį ir vienodumą visuose 200 mm plokštelėse.
Daugiakambarių puslaidininkių įrangos integracija
Modulio VME/VXI magistralės architektūra leidžia integruoti kelis 0100-11002 modulius viename korpusе. Ši mastelio keičiamybė leidžia valdyti daugiakambarių sistemą, užtikrinant pakankamai įėjimų/išėjimų kanalų jutikliams ir veikikliams didelės apimties puslaidininkių apdorojimo įrangoje.
