EN
- Επισκόπηση
- Γρήγορη λεπτομέρεια
- Περιγραφή
- Κύρια Χαρακτηριστικά
- Προδιαγραφές
- Εφαρμογές
- Συνιστώμενα Προϊόντα
Επισκόπηση
Τόπος Προέλευσης: |
ΗΠΑ |
Επωνυμία: |
AMAT |
Αριθμός Μοντέλου: |
0100-11002 |
Λεπτομέρειες Πακέτων: |
Αυθεντικό καινούριο, σφραγισμένο από το εργοστάσιο |
Χρόνος παράδοσης: |
5-7 Ημέρες |
Όροι Πληρωμής: |
T/T |
Δυνατότητα Εφοδιασμού: |
Σε απόθεμα |
Γρήγορη λεπτομέρεια
|
Αρχιτεκτονική λεωφόρου: |
Πρότυπο VME / VXI |
|
Συνάρτηση: |
Μετάδοση και επεξεργασία σημάτων λογικού ελέγχου μηχανής |
|
Τάση Εισόδου: |
24 VDC |
|
Ψηφιακές είσοδοι: |
16–32 κανάλια (οπτικώς απομονωμένα) |
|
Ψηφιακές Έξοδοι: |
16–32 κανάλια (έξοδος με ρελέ ή τρανζίστορ) |
|
Δείκτες κατάστασης Εισόδου/Εξόδου: |
Ενσωματωμένοι LED για κάθε κανάλι εισόδου/εξόδου |
|
Παραγοντική Μορφή: |
8×8,6×26,1 εκ. |
|
Βάρος: |
0.5 kg |
Περιγραφή
Το AMAT 0100-11002 είναι ένα ψηφιακό πλακέτα Εισόδου/Εξόδου (I/O) VME που κατασκευάζεται από την Applied Materials. Αυτή η πλακέτα αποτελεί ένα βασικό συστατικό των εγκαταστάσεων κατασκευής ημιαγωγών και χρησιμοποιείται συχνά στις κλασικές μηχανές σειράς Precision 5000 (P5000).
Κύρια Χαρακτηριστικά
Λειτουργία: Ως πλακέτα διεπαφής DI/DO (ψηφιακή είσοδος/ψηφιακή έξοδος), είναι υπεύθυνη για τη μετάδοση και την επεξεργασία των σημάτων λογικού ελέγχου της μηχανής.
Αρχιτεκτονική λεωφόρου: Ακολουθεί τα πρότυπα πλακετών VME/VXI και ενσωματώνεται στο κύριο πλαίσιο της μηχανής.
Ηλεκτρικές προδιαγραφές: Λειτουργεί συνήθως σε 24 VDC· οι ενσωματωμένοι δείκτες LED παρακολουθούν την κατάσταση εισόδου/εξόδου.
Προδιαγραφές
|
Θερμοκρασία Λειτουργίας: |
0°C έως 70°C |
|
Θερμοκρασία αποθήκευσης: |
-20°C έως 85°C |
|
Απομόνωση: |
Οπτική ή ηλεκτρική απόσταση για εισόδους και εξόδους |
|
Τοποθέτηση: |
Υποδοχή VME 6U ή συμβατή με το πλαίσιο |
|
Συμμόρφωση: |
Πρότυπα VME64 / VXI |
Εφαρμογές
Χρησιμοποιείται ευρέως στον εξοπλισμό επεξεργασίας πλακών 200 mm της Applied Materials, συμπεριλαμβανομένων των συστημάτων ξηράς διάβρωσης (etching), χημικής απόθεσης από ατμό (CVD) και φυσικής απόθεσης από ατμό (PVD):
Έλεγχος Εξοπλισμού Διάβρωσης
Το μοντέλο 0100-11002 χρησιμοποιείται για τη διεπαφή με αισθητήρες, γεννήτριες RF και ελεγκτές ροής μάζας σε συστήματα διάβρωσης πλακών 200 mm. Παρακολουθεί συνθήκες διεργασίας, όπως πίεση, ροή αερίου και παραμέτρους πλάσματος, ενώ ελέγχει ενεργοποιητές, βαλβίδες και συστήματα ασφαλείας σε πραγματικό χρόνο, προκειμένου να διασφαλιστούν ακριβείς προφίλ διάβρωσης.
Συστήματα Χημικής Απόθεσης από Ατμό (CVD)
Στα συστήματα CVD, το μοντέλο διαχειρίζεται ψηφιακά σήματα για την παροχή αερίου, τον έλεγχο της θερμοκρασίας και την επεξεργασία των υποστρωμάτων. Οι οπτικά απομονωμένες είσοδοι του προστατεύουν τον κύριο ελεγκτή από ηλεκτρικό θόρυβο, παρέχοντας ταυτόχρονα αξιόπιστη παρακολούθηση κρίσιμων παραμέτρων διεργασίας. Οι ψηφιακές έξοδοι ενεργοποιούν θερμαντικά στοιχεία, βαλβίδες αερίου και συστήματα αντλιών για τη διατήρηση ομοιόμορφης απόθεσης λεπτών υμενίων στις πλάκες.
Συστήματα Φυσικής Απόθεσης από Ατμό (PVD)
Για εργαλεία PVD, οι συντεταγμένες 0100-11002 καθορίζουν τις πηγές εναπόθεσης, τις αντλίες κενού και τους μηχανισμούς περιστροφής του υποστρώματος. Οι ψηφιακές είσοδοι/έξοδοι υψηλής ταχύτητας επιτρέπουν τη συγχρονισμένη λειτουργία πολλαπλών θαλάμων, διασφαλίζοντας σταθερό πάχος φιλμ και ομοιογένεια σε πλακίδια διαμέτρου 200 mm.
Ενσωμάτωση πολυθάλαμων εξοπλισμών για την παραγωγή ημιαγωγών
Η αρχιτεκτονική του μοντέλου με λεωφορείο VME/VXI επιτρέπει την ενσωμάτωση πολλαπλών μονάδων 0100-11002 σε ένα ενιαίο πλαίσιο. Αυτή η κλιμάκωση επιτρέπει τον έλεγχο πολυθάλαμων συστημάτων, παρέχοντας επαρκείς καναλιούς εισόδου/εξόδου για αισθητήρες και ενεργοποιητές σε εξοπλισμό μεγάλης κλίμακας για την επεξεργασία ημιαγωγών.
