module VME numérique E/S 0100-11002, Chine – Fabricants, fournisseurs et usine de modules VME numériques E/S 0100-11002

Aperçu

Lieu d'origine :	États-Unis
Nom de marque :	AMAT
Numéro de modèle :	0100-11002
Détails d'emballage :	Neuf, scellé en usine
Délai de livraison :	5-7 jours
Conditions de paiement :	T/T
Capacité d'approvisionnement :	En stock

Un détail rapide

Architecture de bus :	Norme VME/VXI
Fonction :	Transmettre et traiter les signaux de commande logique de la machine
Tension d'Entrée :	24 VDC
Entrées numériques :	16 à 32 voies (avec isolation optique)
Sorties numériques :	16 à 32 voies (sortie relais ou transistor)
Indicateurs d'état E/S :	LED intégrées pour chaque canal d'entrée/sortie
Facteur de forme :	8 × 8,6 × 26,1 cm
Poids :	0,5 kg

Description

L’AMAT 0100-11002 est un module VME numérique E/S fabriqué par Applied Materials. Cette carte constitue un composant clé des équipements de fabrication de semi-conducteurs et est couramment utilisée dans les machines classiques de la série Precision 5000 (P5000).

Caractéristiques principales

Fonction : En tant que carte d’interface DI/DO (entrée numérique/sortie numérique), elle est chargée de la transmission et du traitement des signaux de commande logique de la machine.

Architecture de bus : Adopte les normes de modules VME/VXI et s’intègre au châssis principal de la machine.

Spécifications électriques : Fonctionne généralement sous 24 VCC ; des indicateurs LED intégrés surveillent l’état des entrées/sorties.

Spécifications

Température de fonctionnement :	0 °C à 70 °C
Température de stockage :	-20°C à 85°C
Isolation :	Isolation optique ou électrique pour les entrées et les sorties
Montage :	Emplacement compatible VME 6U ou châssis équivalent
Conformité:	Normes VME64 / VXI

Applications

Large utilisation dans les équipements de traitement des wafers de 200 mm d'Applied Materials, notamment les outils de gravure, de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD) :
Commande des équipements de gravure
Le 0100-11002 est utilisé pour l’interface avec des capteurs, des générateurs RF et des contrôleurs de débit massique dans les systèmes de gravure de wafers de 200 mm. Il surveille les conditions de procédé telles que la pression, le débit gazeux et les paramètres du plasma, tout en commandant en temps réel des actionneurs, des vannes et des dispositifs de verrouillage afin d’assurer des profils de gravure précis.
Outils de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Dans les systèmes CVD, ce module gère les signaux numériques relatifs à la distribution des gaz, au contrôle de température et à la manipulation des substrats. Ses entrées opto-isolées protègent le contrôleur principal contre les interférences électriques tout en assurant une surveillance fiable des paramètres critiques du procédé. Les sorties numériques déclenchent les résistances chauffantes, les vannes de gaz et les systèmes de pompage afin de maintenir un dépôt uniforme de couches minces sur les wafers.
Systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Pour les outils PVD, les coordonnées 0100-11002 désignent les sources de dépôt, les pompes à vide et les mécanismes de rotation du substrat. Les entrées/sorties numériques haute vitesse permettent la synchronisation de plusieurs chambres, garantissant une épaisseur et une uniformité constantes des couches sur les wafers de 200 mm.
Intégration d’équipements semi-conducteurs multi-chambres
L’architecture bus VME/VXI du module permet l’intégration de plusieurs modules 0100-11002 dans un seul châssis. Cette évolutivité autorise la commande de systèmes multi-chambres, offrant un nombre suffisant de voies d’entrée/sortie pour les capteurs et les actionneurs utilisés dans les équipements de traitement semi-conducteur à grande échelle.