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- Resumen
- Detalles rápidos
- Descripción
- Las características clave
- Especificaciones
- Aplicaciones
- Productos recomendados
Resumen
Lugar de origen: |
Estados Unidos |
Nombre de la marca: |
AMAT |
Número de modelo: |
0100-11002 |
Detalles del embalaje: |
Nuevo original, sellado de fábrica |
Plazo de entrega: |
5-7 días |
Condiciones de pago: |
T/T |
Capacidad de suministro: |
En stock |
Detalles rápidos
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Arquitectura de bus: |
Estándar VME/VXI |
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Función: |
Transmitir y procesar señales de control lógico de máquina |
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Voltaje de entrada: |
24 VDC |
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Entradas digitales: |
16–32 canales (con aislamiento óptico) |
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Salidas digitales: |
16–32 canales (salida por relé o transistor) |
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Indicadores de estado de E/S: |
LED incorporados para cada canal de entrada/salida |
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Factor de forma: |
8x8,6x26,1 cm |
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Peso: |
0.5 kg |
Descripción
El AMAT 0100-11002 es un módulo VME digital de entradas/salidas fabricado por Applied Materials. Esta tarjeta es un componente clave en los equipos de fabricación de semiconductores y se utiliza comúnmente en las máquinas clásicas de la serie Precision 5000 (P5000).
Las características clave
Función: como tarjeta de interfaz DI/DO (entrada digital/salida digital), se encarga de la transmisión y el procesamiento de las señales lógicas de control de la máquina.
Arquitectura de bus: adopta los estándares de módulo VME/VXI e integra la tarjeta en la unidad central de la máquina.
Especificaciones eléctricas: normalmente opera a 24 VCC; los indicadores LED incorporados supervisan el estado de las entradas/salidas.
Especificaciones
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Temperatura de Funcionamiento: |
0°C a 70°C |
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Temperatura de almacenamiento: |
-20°C a 85°C. No incluidos |
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Aislamiento: |
Aislamiento óptico o eléctrico para entradas y salidas |
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Montaje: |
Ranura para chasis VME 6U o compatible |
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Cumplimiento: |
Estándares VME64/VXI |
Aplicaciones
Ampliamente utilizado en los equipos de procesamiento de obleas de 200 mm de Applied Materials, incluidas las herramientas de grabado, deposición química de vapor (CVD) y deposición física de vapor (PVD):
Control de Equipos de Grabado
El 0100-11002 se utiliza para la interfaz con sensores, generadores de RF y controladores de flujo másico en sistemas de grabado de obleas de 200 mm. Supervisa condiciones de proceso como la presión, el flujo de gas y los parámetros del plasma, mientras controla en tiempo real actuadores, válvulas e interbloqueos para garantizar perfiles de grabado precisos.
Equipos de Depósito Químico en Fase Vapor (CVD)
En los sistemas CVD, el módulo gestiona señales digitales para la entrega de gases, el control de temperatura y la manipulación del sustrato. Sus entradas ópticamente aisladas protegen al controlador principal del ruido eléctrico, al tiempo que ofrecen una supervisión fiable de los parámetros críticos del proceso. Las salidas digitales activan calefactores, válvulas de gas y sistemas de bombeo para mantener una deposición uniforme de películas delgadas sobre las obleas.
Sistemas de Depósito Físico en Fase Vapor (PVD)
Para las herramientas PVD, las coordenadas 0100-11002 ubican las fuentes de deposición, las bombas de vacío y los mecanismos de rotación del sustrato. Las entradas/salidas digitales de alta velocidad permiten la sincronización de múltiples cámaras, garantizando un espesor uniforme y una homogeneidad consistentes en obleas de 200 mm.
Integración de equipos semiconductores de múltiples cámaras
La arquitectura de bus VME/VXI del módulo permite integrar varios módulos 0100-11002 en un solo chasis. Esta escalabilidad posibilita el control de sistemas de múltiples cámaras, proporcionando suficientes canales de entrada/salida para sensores y actuadores en equipos de procesamiento semiconductor a gran escala.
