EN
- Oorsig
- Vinnige besonderhede
- BESKRYWING
- Belangrikste Kenmerke
- Spesifikasies
- Toepassings
- Aanbevole produkte
Oorsig
Oorsprongsplek: |
VSA |
Merknaam: |
AMAT |
Modelnommer: |
0100-11002 |
Verpakkingbesonderhede: |
Oorspronklik nuut, fabrieksgeseël |
Lewertyd: |
5–7 dae |
Betalingsvoorwaardes: |
T/T |
Versorgingsvermoë: |
Op voorraad |
Vinnige besonderhede
|
Busargitektuur: |
VME/VXI-standaard |
|
Funksie: |
Stuur en verwerk masjienlogika-beheertekens |
|
Invoer spanning: |
24 VDC |
|
Digitale insette: |
16–32 kanale (optieso-geïsoleer) |
|
Digitale Uitgange: |
16–32 kanale (relais- of transistoruitset) |
|
I/O-statusaanduiers: |
Aanboord-LED's vir elke invoer-/uitvoerkanaal |
|
Vormfaktor: |
8x8,6x26,1 cm |
|
Gewig: |
0.5 KG |
BESKRYWING
Die AMAT 0100-11002 is ’n digitale I/O-VME-module wat deur Applied Materials vervaardig word. Hierdie kaart is ’n sleutelkomponent in halfgeleiervervaardigingsapparatuur en word algemeen gebruik in die klassieke Precision 5000 (P5000)-reeksmasjiene.
Belangrikste Kenmerke
Funksie: As ’n DI/DO-(digitale invoer/digitale uitvoer)koppelvlakkaart is dit verantwoordelik vir die oordrag en verwerking van masjienlogika-beheelsignale.
Busargitektuur: Volg die VME/VXI-modulestandaarde en is in die masjien se hoofraam geïntegreer.
Elektriese spesifikasies: Werk gewoonlik by 24 VDC; aanboord-LED-aanduiers monitor die invoer-/uitvoerstatus.
Spesifikasies
|
Bedryfstemperatuur： |
0°C tot 70°C |
|
Stoor temperatuur: |
–20 °C tot 85 °C |
|
Isolering: |
Optiese of elektriese isolasie vir invoere en uitvoere |
|
Montasie: |
VME 6U- of kompatible kassettegleuf |
|
Nakoming: |
VME64 / VXI-standaarde |
Toepassings
Wye gebruik in toegepaste materiale se 200 mm skyfverwerkingstoerusting, insluitend etssisteme, chemiese dampafsettings (CVD)-toerusting en fisiese dampafsettings (PVD)-toerusting:
Etssistemebeheer
Die 0100-11002 word gebruik om met sensore, RF-genereerders en massa-vloei-beheerders in 200 mm skyfetssisteme te koppel. Dit monitor prosesvoorwaardes soos druk, gasvloei en plasma-parameter, terwyl dit aktuatorre, kleppe en interluisse in werklike tyd beheer om presiese etsprofiel te verseker.
Chemiese dampafsettings (CVD)-toerusting
In CVD-sisteme bestuur die module digitale seine vir gaslewering, temperatuurbeheer en substraathandhawing. Sy opto-gesoleerde insette beskerm die hoofbeheerder teen elektriese geraas terwyl dit betroubare monitering van kritieke prosesparameter verskaf. Digitale uitsette aktiveer verhitters, gaskleppe en pompsisteme om eenvormige dunfilmafsetting oor skywe te handhaaf.
Fisiese dampafsettings (PVD)-sisteme
Vir PVD-gereedskap identifiseer die 0100-11002-koördinate deposisiebronne, vakuumpompe en substraatrotasiemeganismes. Hoëspoed-digitale I/O laat die sinkronisasie van verskeie kamers toe, wat konsekwente filmdikte en eenvormigheid oor 200 mm skyfies waarborg.
Integrasie van veelkamer-halfgeleier-toerusting
Die module se VME/VXI-busargitektuur maak die integrasie van verskeie 0100-11002-module in een enkele kas moontlik. Hierdie skaalbaarheid stel beheer van veelkamerstelsels in staat en verskaf voldoende I/O-kanale vir sensore en aktuatorre in groot-skaal halfgeleierverwerkingstoerusting.
