- Ümumi baxış
- Qısa Məlumat
- Təsvir
- Əsas Xüsusiyyətlər
- Spesifikasiyalar
- Tətbiqlər
- Tövsiyə olunan məhsullar
Ümumi baxış
Əsas Yer: |
ABŞ |
Marka adı: |
AMAT |
Model nömrəsi: |
0100-11002 |
Qablaşdırma Detalları: |
Orijinal yeni Fabrika Qutusu |
İstedak Vaxtı: |
5-7 gün |
Ödəmə şərtləri: |
T/T |
Təchizat qabiliyi: |
Anbarda |
Qısa Məlumat
|
Şin Arxitekturası: |
VME / VXI Standartı |
|
Funksiya: |
Maşın məntiqi idarəetmə siqnallarını ötürür və emal edir |
|
Giriş Gərginliyi: |
24 VDC |
|
Rəqəmsal Girişlər: |
16–32 kanal (optik izolyasiyalı) |
|
Rəqəmsal çıxışlar: |
16–32 kanal (rele və ya tranzistor çıxışı) |
|
Giriş/Çıxış Status Göstəriciləri: |
Hər bir giriş/çıxış kanalı üçün daxili LED-lər |
|
Form-faktor: |
8×8,6×26,1 sm |
|
Çəki: |
0.5 KG |
Təsvir
AMAT 0100-11002 — Applied Materials tərəfindən istehsal olunan Rəqəmsal Giriş/Çıxış VME Moduludur. Bu lövhə yarımkeçirici istehsalat avadanlığında əsas komponentdir və adətən klassik Precision 5000 (P5000) seriyasının maşınlarında istifadə olunur.
Əsas Xüsusiyyətlər
Funksiya: DI/DO (Rəqəmsal Giriş/Rəqəmsal Çıxış) interfeys lövhəsi kimi maşının məntiqi idarəetmə siqnallarının ötürülməsindən və emalından məsuldur.
Veriyolu Arxitekturası: VME/VXI modulu standartlarını qəbul edir və maşının əsas blokuna inteqrasiya olunur.
Elektrik xüsusiyyətləri: Adətən 24 VDC-də işləyir; daxili LED göstəricilər giriş/çıxış statusunu izləyir.
Spesifikasiyalar
|
İşləmə temperaturu: |
0°C-dən 70°C-ə qədər |
|
Saxlama temperaturu: |
-20°C ilə 85°C arasında |
|
İzolyasiya: |
Giriş və çıxışlar üçün optik və ya elektrik izolyasiyası |
|
Montaj: |
VME 6U və ya uyğun şassi yuvası |
|
Uyğunluq: |
VME64 / VXI Standartları |
Tətbiqlər
Etik, kimyəvi buxar çökməsi (CVD) və fiziki buxar çökməsi (PVD) alətlərində daxil olmaqla, Applied Materials şirkətinin 200 mmli plastinlərin emalı üçün istifadə olunan avadanlıqlarda geniş yayılmışdır:
Qazın aşındırılması avadanlığı idarəetməsi
0100-11002 nömrəli modul 200 mm plastinlərin aşındırılması sistemlərində sensorlarla, RF generatorları ilə və kütləvi axın idarəedici qurğularla əlaqə qurmaq üçün istifadə olunur. O, təzyiq, qaz axını və plazma parametrləri kimi proses şəraitini izləyir və eyni zamanda dəqiq aşındırma profillərini təmin etmək üçün hərəkət edən elementləri, klapanları və qoruyucu blokları real vaxtda idarə edir.
Kimyəvi buxar çökməsi (CVD) alətləri
CVD sistemlərində modul qaz verilməsi, temperatur idarəetməsi və substratların idarə edilməsi üçün rəqəmsal siqnalları idarə edir. Onun optik izolyasiyalı girişləri əsas idarəedici qurğunu elektrik gürültüsündən qoruyur və eyni zamanda vacib proses parametrlərinin etibarlı izlənilməsini təmin edir. Rəqəmsal çıxışlar isə bərabər qalınlıqlı nazik film çökməsini təmin etmək üçün isidiciləri, qaz klapanlarını və nasos sistemlərini aktivləşdirir.
Fiziki buxar çökməsi (PVD) sistemləri
PVD alətləri üçün 0100-11002 koordinatlar çöküntü mənbələrini, vakuum nasoslarını və substratın fırlanma mexanizmlərini müəyyən edir. Yüksək sürətli rəqəmsal giriş/çıxış (I/O), bir neçə kameranın sinxronlaşdırılmasına imkan verir və beləliklə, 200 mm plastinlərdə eyni qalınlıqda və bərabər örtük alınmasını təmin edir.
Çoxkamerali yarımkeçirici avadanlıqların inteqrasiyası
Modulun VME/VXI şin arxitekturası, tək bir şassidə bir neçə 0100-11002 modulunun inteqrasiyasına imkan verir. Bu miqyaslanma qabiliyyəti çoxkamerali sistemlərin idarə edilməsini mümkün edir və böyük ölçülü yarımkeçirici emal avadanlıqlarında sensorlar və işçilər üçün kifayət qədər giriş/çıxış (I/O) kanalları təmin edir.