0100-11002 Digitális I/O VME modul, Kína – 0100-11002 Digitális I/O VME modul gyártói, beszállítói, gyár

Áttekintés

Származási hely:	USA
Márkanév:	AMAT
Modellszám:	0100-11002
A csomagolás részletei:	Eredeti, új, gyári zárású
Szállítási idő:	5-7 Nap
Kifizetési feltételek:	T/T
Szállítási kapacitás:	Készleten

Gyors részlet

Buszarchitektúra:	VME / VXI szabvány
Funkció:	Géplogikai vezérlőjelek továbbítása és feldolgozása
Bemeneti Feszültség:	24 VDC
Digitális bemenetek:	16–32 csatorna (optoizolált)
Digitális kimenetek:	16–32 csatorna (relés vagy tranzisztoros kimenet)
Bemenet/kimenet állapotjelzők:	Beépített LED-ek minden bemeneti/kimeneti csatornán
Kivitel:	8×8,6×26,1 cm
Súly:	0.5 KG

Leírás

Az AMAT 0100-11002 egy digitális bemenet/kimenet (I/O) VME-modul, amelyet az Applied Materials gyártott. Ez a kártya kulcsfontosságú összetevő a félvezető-gyártó berendezésekben, és gyakran használják a klasszikus Precision 5000 (P5000) sorozat gépeiben.

Főbb jellemzők

Funkció: Digitális bemenet/digitális kimenet (DI/DO) interfész-kártyaként felelős a gép logikai vezérlési jeleinek továbbításáért és feldolgozásáért.

Buszarchitektúra: A VME/VXI modul szabványokat alkalmazza, és beépül a gép főegységébe.

Elektromos műszaki adatok: Általában 24 V egyenáramon működik; a beépített LED-jelzők figyelik a bemenet/kimenet állapotát.

Specifikációk

Működési hőmérséklet:	0 °C és 70 °C között
Tárolási hőmérséklet:	–20 °C-tól 85 °C-ig
Elválasztás:	Optikai vagy villamos elválasztás a bemenetekhez és kimenetekhez
Szerelés:	VME 6U vagy kompatibilis tokfoglalat
Megfelelőség:	VME64 / VXI szabványok

Alkalmazások

Széles körben használják az Applied Materials 200 mm-es szilíciumlemez-feldolgozó berendezéseiben, többek között a maratási, kémiai gőzfázisú ülepítési (CVD) és fizikai gőzfázisú ülepítési (PVD) eszközökben:
Maratási berendezések vezérlése
A 0100-11002 modult érzékelők, RF-generátorok és tömegáram-szabályozók interfészére használják 200 mm-es szilíciumlemez-marató rendszerekben. A folyamatparamétereket – például a nyomást, a gázáramlást és a plazmaparamétereket – figyeli, miközben valós időben vezérli a működtető elemeket, szelepeket és biztonsági záróként funkcionáló egységeket, így biztosítva a pontos maratási profilokat.
Kémiai gőzfázisú ülepítési (CVD) eszközök
A CVD-rendszerekben a modul digitális jeleket kezel a gázellátáshoz, hőmérséklet-szabályozáshoz és alapanyagkezeléshez. Az optikailag elszigetelt bemenetei megvédik a fő vezérlőegységet az elektromos zajtól, miközben megbízhatóan figyelik a kritikus folyamatparamétereket. A digitális kimenetek indítják a fűtőelemeket, gázszelepeket és szivattyúrendszereket, hogy egyenletes vékonyréteg-ülepítést érjenek el a lemezek felületén.
Fizikai gőzfázisú ülepítési (PVD) rendszerek
A PVD-eszközökhöz a 0100-11002 koordináták a leülepedési forrásokat, vákuum szivattyúkat és az alapanyag-forgatási mechanizmusokat határozzák meg. A nagysebességű digitális bemenet/kimenet lehetővé teszi több kamerában való szinkronizációt, így biztosítva a fóliavastagság és egyenletesség konzisztenciáját 200 mm-es szilíciumlapkákon.
Többkamrás félvezető-gyártóberendezések integrációja
A modul VME/VXI buszarchitektúrája lehetővé teszi több 0100-11002 modul integrálását egyetlen tokban. Ez a skálázhatóság lehetővé teszi többkamrás rendszerek vezérlését, és elegendő bemeneti/kimeneti csatornát biztosít a nagy méretű félvezető-feldolgozó berendezésekben alkalmazott érzékelők és meghajtók számára.