EN
- Prehľad
- Rýchly detail
- Popis
- Kľúčové vlastnosti
- Špecifikácie
- Použitie
- Odporúčané produkty
Prehľad
Miesto pôvodu: |
USA |
Názov značky: |
AMAT |
Číslo modelu: |
0100-11002 |
Podrobnosti o balení: |
Originálny nový, uzatvorený v továrni |
Čas dodania: |
5-7 dní |
Platobné podmienky: |
T/T |
Zásobovateľnosť: |
Na sklade |
Rýchly detail
|
Architektúra zbernice: |
Štandard VME / VXI |
|
Funkcia: |
Prenos a spracovanie logických riadiacich signálov stroja |
|
Vstupné napätie: |
24 VDC |
|
Digitálne vstupy: |
16–32 kanálov (optoizolované) |
|
Digitálne výstupy: |
16–32 kanálov (reléový alebo tranzistorový výstup) |
|
Indikátory stavu vstupov/výstupov: |
Onboard LEDy pre každý kanál vstupu/výstupu |
|
Tvar: |
8 × 8,6 × 26,1 cm |
|
Hmotnosť: |
0,5 kg |
Popis
AMAT 0100-11002 je digitálny vstupno-výstupný VME modul vyrábaný spoločnosťou Applied Materials. Táto doska je kľúčovou súčasťou zariadení na výrobu polovodičov a bežne sa používa v klasických strojoch série Precision 5000 (P5000).
Kľúčové vlastnosti
Funkcia: Ako rozhranie DI/DO (digitálny vstup/digitálny výstup) zodpovedá za prenos a spracovanie logických riadiacich signálov stroja.
Architektúra zbernice: Používa štandardy VME/VXI modulov a je integrovaná do hlavnej jednotky stroja.
Elektrické špecifikácie: Bežne pracuje pri napätí 24 V DC; onboard LED indikátory monitorujú stav vstupov/výstupov.
Špecifikácie
|
Prevádzková teplota: |
0°C až 70°C |
|
Teplota skladovania: |
-20 °C až 85 °C |
|
Izolácia: |
Optická alebo elektrická izolácia vstupov a výstupov |
|
Montáž: |
Slot pre VME 6U alebo kompatibilný rámový systém |
|
Súlad: |
Štandardy VME64 / VXI |
Použitie
Široko sa používa v zariadeniach Applied Materials na spracovanie 200 mm platní, vrátane zariadení na leptanie, chemické usadzovanie z pár (CVD) a fyzikálne usadzovanie z pár (PVD):
Ovládanie zariadení na leptanie
Modul 0100-11002 sa používa na rozhranie so snímačmi, RF generátormi a regulátormi hmotnostného prietoku v systémoch na leptanie 200 mm platní. Monitoruje technologické podmienky, ako sú tlak, prietok plynov a parametre plazmy, a súčasne v reálnom čase ovláda aktuátory, ventily a bezpečnostné zámky, aby sa zabezpečili presné profily leptania.
Zariadenia na chemické usadzovanie z pár (CVD)
V systémoch CVD modul spravuje digitálne signály pre dodávku plynov, reguláciu teploty a manipuláciu s podkladmi. Jeho opticky izolované vstupy chránia hlavný riadiaci systém pred elektrickým šumom a zároveň poskytujú spoľahlivé monitorovanie kritických technologických parametrov. Digitálne výstupy spúšťajú vykurovacie telesá, plynové ventily a čerpadlové systémy, aby sa udržala rovnaká tenká vrstva usadená po celej ploche platní.
Systémy na fyzikálne usadzovanie z pár (PVD)
Pre nástroje s PVD technológiou sú súradnice 0100-11002 priradené zdrojom usadzovania, vývodom vzduchu a mechanizmom rotácie substrátu. Vysokorýchlostné digitálne vstupy/výstupy umožňujú synchronizáciu viacerých komôr, čím sa zabezpečuje konzistentná hrúbka vrstvy a jej rovnosť na kremíkových platničkách s priemerom 200 mm.
Integrácia polovodičového vybavenia s viacerými komorami
Architektúra zbernice VME/VXI modulu umožňuje integráciu viacerých modulov 0100-11002 do jediného rámu. Táto škálovateľnosť umožňuje riadenie systémov s viacerými komorami a poskytuje dostatočný počet vstupno-výstupných kanálov pre senzory a aktuátory v polovodičových spracovacích zariadeniach veľkého rozsahu.
