EN
- مرور کلی
- جزئیات سریع
- توضیحات
- ویژگیهای کلیدی
- مشخصات
- کاربردها
- محصولات پیشنهادی
مرور کلی
محل اصل: |
ایالات متحده آمریکا |
نام تجاری: |
AMAT |
شماره مدل: |
0100-11002 |
جزئیات بستهبندی: |
نو اصلی، دربستهبندی کارخانه |
زمان تحویل: |
5 تا 7 روز |
شرایط پرداخت: |
T/T |
توانایی تأمین: |
در انبار |
جزئیات سریع
|
معماری باس: |
استاندارد VME/VXI |
|
عملکرد: |
ارسال و پردازش سیگنالهای کنترل منطقی ماشین |
|
ولتاژ ورودی: |
24 VDC |
|
ورودیهای دیجیتال: |
۱۶ تا ۳۲ کانال (با عزل نوری) |
|
خروجیهای دیجیتال: |
۱۶ تا ۳۲ کانال (با خروجی رله یا ترانزیستور) |
|
نشانگرهای وضعیت ورودی/خروجی: |
LEDهای داخلی برای هر کانال ورودی/خروجی |
|
فرم و اندازه: |
۸×۸٫۶×۲۶٫۱ سانتیمتر |
|
وزن: |
0.5 کیلوگرم |
توضیحات
ماژول ورودی/خروجی دیجیتال AMAT 0100-11002 توسط شرکت Applied Materials ساخته شده است. این برد یک جزء کلیدی در تجهیزات تولید نیمههادی است و معمولاً در ماشینهای سری کلاسیک Precision 5000 (P5000) استفاده میشود.
ویژگیهای کلیدی
عملکرد: بهعنوان یک برد رابط ورودی دیجیتال/خروجی دیجیتال (DI/DO)، مسئول انتقال و پردازش سیگنالهای کنترل منطقی ماشین است.
معماری باس: از استانداردهای ماژول VME/VXI پیروی میکند و در شاسی اصلی ماشین ادغام شده است.
مشخصات الکتریکی: معمولاً در ولتاژ ۲۴ ولت DC کار میکند؛ نشانگرهای LED داخلی وضعیت ورودی/خروجی را نظارت میکنند.
مشخصات
|
دمای عملیاتی: |
0°C تا 70°C |
|
دمای ذخیره سازی: |
۲۰- تا ۸۵ درجه سانتیگراد |
|
جدا کردن: |
جداسازی نوری یا الکتریکی برای ورودیها و خروجیها |
|
نصب: |
شیار شاسی VME 6U یا سازگان با آن |
|
امتیاز: |
استانداردهای VME64 / VXI |
کاربردها
بهطور گستردهای در تجهیزات پردازش وفرهای ۲۰۰ میلیمتری شرکت Applied Materials، از جمله ابزارهای آشکارسازی (Etching)، رسوبگذاری شیمیایی بخار (CVD) و رسوبگذاری فیزیکی بخار (PVD) استفاده میشود:
کنترل تجهیزات آشکارسازی
ماژول ۰۱۰۰-۱۱۰۰۲ برای اتصال به سنسورها، ژنراتورهای RF و کنترلکنندههای جریان جرمی (MFC) در سیستمهای آشکارسازی وفر ۲۰۰ میلیمتری به کار میرود. این ماژول شرایط فرآیند مانند فشار، جریان گاز و پارامترهای پلاسما را نظارت میکند و همزمان با کنترل بلادرنگ عملگرها، شیرها و سیستمهای قفل ایمنی (Interlocks)، پروفیلهای آشکارسازی دقیق را تضمین مینماید.
ابزارهای رسوبگذاری شیمیایی بخار (CVD)
در سیستمهای CVD، این ماژول سیگنالهای دیجیتال مربوط به تحویل گاز، کنترل دما و مدیریت زیرلایه را مدیریت میکند. ورودیهای نوری-عایقشده (Opto-isolated) آن، کنترلکننده اصلی را از نویزهای الکتریکی محافظت کرده و نظارت قابلاطمینان بر پارامترهای حیاتی فرآیند را فراهم میسازند. خروجیهای دیجیتال، گرمکنندهها، شیرهای گاز و سیستمهای پمپ را فعال میکنند تا رسوب یکنواخت لایه نازک روی وفرها حفظ شود.
سیستمهای رسوبگذاری فیزیکی بخار (PVD)
برای ابزارهای PVD، مختصات ۰۱۰۰-۱۱۰۰۲ منابع رسوبگذاری، پمپهای خلأ و مکانیزمهای چرخش زیرلایه را مشخص میکند. ورودی/خروجی دیجیتال با سرعت بالا امکان همگامسازی چندین غرفه را فراهم میکند و ضخامت لایه و یکنواختی آن را در سطح وفرهای ۲۰۰ میلیمتری تضمین مینماید.
ادغام تجهیزات نیمههادی چندغرفهای
معماری این ماژول بر پایهی باس VME/VXI است که امکان ادغام چندین ماژول ۰۱۰۰-۱۱۰۰۲ در یک شاسی واحد را فراهم میکند. این قابلیت مقیاسپذیری امکان کنترل سیستمهای چندغرفهای را فراهم میسازد و تعداد کافی کانالهای ورودی/خروجی را برای سنسورها و اکچوئتورها در ابزارهای پردازش نیمههادی مقیاس بزرگ تأمین میکند.
