وحدة إدخال/إخراج رقمية نموذج 0100-11002 لواجهة VME، الصين — مصنّعون ومورّدون ومصنع وحدات الإدخال/الإخراج الرقمية النموذج 0100-11002 لواجهة VME من شركة إيفولو أتوميشن

نظرة عامة

مكان المنشأ:	الولايات المتحدة الأمريكية
اسم العلامة التجارية:	AMAT
رقم النموذج:	0100-11002
تفاصيل التغليف:	أصلي جديد مختوم من المصنع
مدة التسليم:	5-7 أيام
شروط الدفع:	T/T
القدرة الإنتاجية:	متوفر في المخزون

تفاصيل سريعة

بنية الحافلة:	معيار VME‏/VXI
الوظيفة:	إرسال ومعالجة إشارات التحكم المنطقية للماكينة
جهد الإدخال:	24 VDC
المدخلات الرقمية:	١٦–٣٢ قناة (مع عزل ضوئي)
المخرجات الرقمية:	١٦–٣٢ قناة (مخرجة عبر ريلاي أو ترانزستور)
مؤشرات حالة الإدخال/الإخراج:	مصابيح LED مدمجة لكل قناة إدخال/إخراج
الشكل العام:	8×8.6×26.1 سم
الوزن:	0.5 كجم

الوصف

وحدة AMAT 0100-11002 للإدخال/الإخراج الرقمي (I/O) وفق معيار VME، وهي مصنَّعة من قِبل شركة Applied Materials. وتُعَدُّ هذه اللوحة مكوِّنًا رئيسيًّا في معدات تصنيع أشباه الموصلات، وتُستخدَم عادةً في سلسلة آلات Precision 5000 الكلاسيكية (P5000).

الميزات الرئيسية

الوظيفة: باعتبارها لوحة واجهة إدخال رقمي/إخراج رقمي (DI/DO)، فهي مسؤولة عن نقل ومعالجة إشارات التحكُّم المنطقية الخاصة بالآلة.

هندسة الناقل (Bus Architecture): تتبع معايير وحدات VME/VXI، وهي مدمجة في هيكل الآلة الرئيسي.

المواصفات الكهربائية: تعمل عادةً عند جهد 24 فولت تيار مستمر (VDC)؛ ومصابيح LED مدمجة على اللوحة تراقب حالة الإدخال/الإخراج.

المواصفات الفنية

درجة حرارة التشغيل:	من 0°م إلى 70°م
درجة حرارة التخزين:	-20°C إلى 85°C
العزل:	عزل ضوئي أو كهربائي للإدخالات والمخرجات
التركيب:	فتحة شاسية VME 6U أو فتحة متوافقة
الامتثال:	معايير VME64 / VXI

التطبيقات

تُستخدم على نطاق واسع في معدات معالجة رقائق السيليكون بقطر 200 مم من إنتاج شركة Applied Materials، بما في ذلك أدوات التآكل (Etching)، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD):
التحكم في معدات التآكل الكيميائي
يُستخدم النموذج 0100-11002 للاتصال مع أجهزة الاستشعار ومولدات التردد اللاسلكي (RF) ووحدات التحكم في تدفق الغاز في أنظمة تآكل رقائق السيليكون بقطر 200 مم. ويقوم برصد ظروف العملية مثل الضغط وتدفق الغاز ومعاملات البلازما، بينما يتحكم في المحركات والصمامات ودوائر الحماية التلقائية في الوقت الفعلي لضمان تحقيق ملفات تآكل دقيقة.
أدوات الترسيب بالتبخر الكيميائي (CVD)
في أنظمة الترسيب بالتبخر الكيميائي (CVD)، تقوم الوحدة بإدارة الإشارات الرقمية الخاصة بتوصيل الغاز والتحكم في درجة الحرارة ومناولة الركائز. وتوفّر مدخلاتها المعزولة ضوئيًّا حمايةً لمتحكم النظام الرئيسي من الضوضاء الكهربائية، مع توفير رصدٍ موثوقٍ للمعاملات الحرجة في عملية الترسيب. أما المخرجات الرقمية فتُفعِّل وحدات التسخين وصمامات الغاز وأنظمة المضخات للحفاظ على انتظام طبقة الترسيب الرقيقة عبر الرقائق.
أنظمة الترسيب بالتبخر البدني (PVD)
بالنسبة لأدوات الترسيب الفيزيائي بالتفريغ (PVD)، فإن الإحداثيات 0100-11002 تُحدِّد مصادر الترسيب، والمضخات الفراغية، وآليات دوران الركيزة. وتسمح إدخالات/مخرجات رقمية عالية السرعة بمزامنة عدة غرف معًا، مما يضمن اتساق سماكة الطبقة الرقيقة وتجانسها عبر رقائق بقطر ٢٠٠ مم.
دمج معدات أشباه الموصلات متعددة الغرف
تتيح بنية النموذول الحافلة VME/VXI دمج عدة وحدات من نوع 0100-11002 في هيكل واحد. ويتيح هذا التوسع التحكم في الأنظمة متعددة الغرف، مما يوفِّر عدد قنوات الإدخال/الإخراج الكافي للمستشعرات والمُحرِّكات في أدوات معالجة أشباه الموصلات على نطاق واسع.