0100-11002 Raqamli kirish/chiqish VME moduli

Umumiy ma'lumot

Kelib chiqish joyi:	AQSH
Brend nomi:	AMAT
Model raqami:	0100-11002
Paketchilash tafsilotlari:	Asl yangi zavodda sig'illangan
Yetkazib berish muddati:	5–7 kun
To'lov shartlari:	T/T
Yetkazib berish qobiliyati:	Omborda bor

Tez tafsilot

Avtobus arxitekturasi:	VME / VXI standarti
Funktsiya:	Mashina mantiqiy boshqaruv signallarini uzatish va qayta ishlash
Kirish kuchlanishi:	24 VDC
Raqamli kirishlar:	16–32 ta kanal (opto-izolyatsiyalangan)
Raqamli chiqishlar:	16–32 ta kanal (rele yoki tranzistorli chiqish)
Kiritish/chiqarish holati ko'rsatkichlari:	Har bir kiritish/chiqarish kanali uchun avtomatik yoritiladigan LED-lar
Shakli (Form Factor):	8×8,6×26,1 sm
Vazn:	0.5 kg

TA’RIF

AMAT 0100-11002 — Applied Materials tomonidan ishlab chiqilgan raqamli kiritish/chiqarish VME moduli. Bu plita yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uskunalari uchun muhim komponent bo'lib, odatda klassik Precision 5000 (P5000) seriyali mashinalarda qo'llaniladi.

Asosiy xususiyatlar

Funktsiya: DI/DO (raqamli kiritish/raqamli chiqarish) interfeys plitasi sifatida u mashina mantiqiy boshqaruv signallarini uzatish va qayta ishlash vazifasini bajaradi.

Shina arxitekturasi: VME/VXI modul standartlarini qo'llaydi va mashina asosiy korpusiga integratsiya qilinadi.

Elektr xususiyatlari: Odatda 24 V doimiy tokda ishlaydi; plitada joylashgan LED ko'rsatkichlar kiritish/chiqarish holatini nazorat qiladi.

Texnik xarakteristikalari

Ishlash harorati:	0°C dan 70°C gacha
Saxlanish harorati:	-20°C dan 85°C gacha
Изоляция:	Kiritish va chiqarishlarga optik yoki elektr izolyatsiya
Qo'yish:	VME 6U yoki mos keladigan shassi sloti
Moslik:	VME64 / VXI standartlari

Qo'llanilish sohalari

200 mm plastinkalarni qayta ishlash uskunalari, jumladan, etching (plastinkalarni o'chirish), kimyoviy bug'lar orqali qoplama (CVD) va fizik bug'lar orqali qoplama (PVD) uskunalari uchun Applied Materials kompaniyasining keng qo'llaniladigan uskunalari:
Etching (plastinkalarni o'chirish) uskunalari boshqaruv tizimi
0100-11002 raqamli modul 200 mm plastinkalarni o'chirish tizimlarida sensorlar, RF generatorlar va massali oqim boshqaruvchi qurilmalar bilan ulanish uchun ishlatiladi. U bosim, gaz oqimi va plazma parametrlari kabi jarayon sharoitlarini nazorat qiladi hamda aniq o'chirish profilini ta'minlash maqsadida aktuatorlar, klapanlar va xavfsizlik bloklovchilarni haqiqiy vaqtda boshqaradi.
Kimyoviy bug'lar orqali qoplama (CVD) uskunalari
CVD tizimlarida modul gaz yetkazib berish, haroratni boshqarish va substratni boshqarish uchun raqamli signallarni boshqaradi. Uni optik izolyatsiyalangan kirishlari asosiy boshqaruv qurilmasini elektr shovqinlaridan himoya qiladi va muhim jarayon parametrlarini ishonchli nazorat qilish imkonini beradi. Raqamli chiquvlari issiqlik beruvchi elementlarni, gaz klapanlarini va nasos tizimlarini faollashtiradi va plastinkalarga bir xil ingichka qoplamani joylashtirishni ta'minlaydi.
Fizik bug'lar orqali qoplama (PVD) tizimlari
PVD asboblari uchun 0100-11002 koordinatalari osma manbalarni, vakuum nasoslarini va substrat aylanish mexanizmlarini belgilaydi. Yuqori tezlikdagi raqamli I/O bir nechta kamerani sinxronlashtirish imkonini beradi, bu esa 200 mm plastinkalarda qalinlik va qoplamning bir xil bo'lishini ta'minlaydi.
Ko'p kamerali yarimo'tkazgich uskunalari integratsiyasi
Modulning VME/VXI avtobus arxitekturasi bitta shassisda bir nechta 0100-11002 modullarini integratsiya qilish imkonini beradi. Bu moslashuvchanlik ko'p kamerali tizimlarni boshqarishni ta'minlaydi va keng ko'lamli yarimo'tkazgich ishlash uskunalari uchun sensorlar va ishchi organlar uchun yetarli I/O kanallarini ta'minlaydi.