EN
- Umumiy ko'rinish
- Tez tafsilot
- Tavsif
- Asosiy xususiyatlar
- Texnik xususiyatlari
- Qo'llanilishi
- Tavsiya etilgan mahsulotlar
Umumiy ko'rinish
Kelib chiqish joyi: |
AQSH |
Brend nomi: |
AMAT |
Model raqami: |
0100-11002 |
Qadoqlash tafsilotlari: |
Asl yangi Zavod tomonidan sigillangan |
Yetkazib berish muddati: |
5-7 kun |
To'lov shartlari: |
T/T |
Yetkazib berish qobiliyati: |
E'tiborlangan |
Tez tafsilot
|
Avtobus arxitekturasi: |
VME / VXI standarti |
|
Funktsiya: |
Mashina mantiqiy boshqaruv signallarini uzatish va qayta ishlash |
|
Kirish kuchlanishi: |
24 VDC |
|
Raqamli kirishlar: |
16–32 ta kanal (opto-izolyatsiyalangan) |
|
Raqamli chiqishlar: |
16–32 ta kanal (rele yoki tranzistorli chiqish) |
|
Kiritish/chiqarish holati ko'rsatkichlari: |
Har bir kiritish/chiqarish kanali uchun avtomatik yoritiladigan LED-lar |
|
Shakli (Form Factor): |
8×8,6×26,1 sm |
|
Vazn: |
0.5 kg |
Tavsif
AMAT 0100-11002 — Applied Materials tomonidan ishlab chiqilgan raqamli kiritish/chiqarish VME moduli. Bu plita yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uskunalari uchun muhim komponent bo'lib, odatda klassik Precision 5000 (P5000) seriyali mashinalarda qo'llaniladi.
Asosiy xususiyatlar
Funktsiya: DI/DO (raqamli kiritish/raqamli chiqarish) interfeys plitasi sifatida u mashina mantiqiy boshqaruv signallarini uzatish va qayta ishlash vazifasini bajaradi.
Shina arxitekturasi: VME/VXI modul standartlarini qo'llaydi va mashina asosiy korpusiga integratsiya qilinadi.
Elektr xususiyatlari: Odatda 24 V doimiy tokda ishlaydi; plitada joylashgan LED ko'rsatkichlar kiritish/chiqarish holatini nazorat qiladi.
Texnik xususiyatlari
|
Ishlash harorati: |
0°C dan 70°C gacha |
|
Saxlanish harorati: |
-20°C dan 85°C gacha |
|
Изоляция: |
Kiritish va chiqarishlarga optik yoki elektr izolyatsiya |
|
Qo'yish: |
VME 6U yoki mos keladigan shassi sloti |
|
Moslik: |
VME64 / VXI standartlari |
Qo'llanilishi
200 mm plastinkalarni qayta ishlash uskunalari, jumladan, etching (plastinkalarni o'chirish), kimyoviy bug'lar orqali qoplama (CVD) va fizik bug'lar orqali qoplama (PVD) uskunalari uchun Applied Materials kompaniyasining keng qo'llaniladigan uskunalari:
Etching (plastinkalarni o'chirish) uskunalari boshqaruv tizimi
0100-11002 raqamli modul 200 mm plastinkalarni o'chirish tizimlarida sensorlar, RF generatorlar va massali oqim boshqaruvchi qurilmalar bilan ulanish uchun ishlatiladi. U bosim, gaz oqimi va plazma parametrlari kabi jarayon sharoitlarini nazorat qiladi hamda aniq o'chirish profilini ta'minlash maqsadida aktuatorlar, klapanlar va xavfsizlik bloklovchilarni haqiqiy vaqtda boshqaradi.
Kimyoviy bug'lar orqali qoplama (CVD) uskunalari
CVD tizimlarida modul gaz yetkazib berish, haroratni boshqarish va substratni boshqarish uchun raqamli signallarni boshqaradi. Uni optik izolyatsiyalangan kirishlari asosiy boshqaruv qurilmasini elektr shovqinlaridan himoya qiladi va muhim jarayon parametrlarini ishonchli nazorat qilish imkonini beradi. Raqamli chiquvlari issiqlik beruvchi elementlarni, gaz klapanlarini va nasos tizimlarini faollashtiradi va plastinkalarga bir xil ingichka qoplamani joylashtirishni ta'minlaydi.
Fizik bug'lar orqali qoplama (PVD) tizimlari
PVD asboblari uchun 0100-11002 koordinatalari osma manbalarni, vakuum nasoslarini va substrat aylanish mexanizmlarini belgilaydi. Yuqori tezlikdagi raqamli I/O bir nechta kamerani sinxronlashtirish imkonini beradi, bu esa 200 mm plastinkalarda qalinlik va qoplamning bir xil bo'lishini ta'minlaydi.
Ko'p kamerali yarimo'tkazgich uskunalari integratsiyasi
Modulning VME/VXI avtobus arxitekturasi bitta shassisda bir nechta 0100-11002 modullarini integratsiya qilish imkonini beradi. Bu moslashuvchanlik ko'p kamerali tizimlarni boshqarishni ta'minlaydi va keng ko'lamli yarimo'tkazgich ishlash uskunalari uchun sensorlar va ishchi organlar uchun yetarli I/O kanallarini ta'minlaydi.
