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- अवलोकन
- त्वरित विवरण
- विवरण
- मुख्य विशेषताएँ
- विशिष्टताएँ
- अनुप्रयोग
- अनुशंसित उत्पाद
अवलोकन
मूल स्थान: |
अमेरिका |
ब्रांड का नाम: |
AMAT |
मॉडल नंबर: |
0100-11002 |
पैकिंग विवरण: |
मूल नया कारखाना सील |
डिलीवरी समय: |
5-7 दिन |
भुगतान शर्तें: |
T/T |
सप्लाई क्षमता: |
स्टॉक में |
त्वरित विवरण
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बस आर्किटेक्चर: |
VME / VXI मानक |
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कार्यः |
मशीन लॉजिक नियंत्रण संकेतों को प्रेषित करना और संसाधित करना |
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इनपुट वोल्टेज: |
24 VDC |
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डिजिटल इनपुट: |
16–32 चैनल (ऑप्टो-इसोलेटेड) |
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डिजिटल आउटपुट: |
16–32 चैनल (रिले या ट्रांजिस्टर आउटपुट) |
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इनपुट/आउटपुट स्थिति संकेतक: |
प्रत्येक इनपुट/आउटपुट चैनल के लिए ऑनबोर्ड LED |
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आकार कारक: |
8×8.6×26.1 सेमी |
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भार: |
0.5 किलोग्राम |
विवरण
AMAT 0100-11002 एप्लाइड मटेरियल्स द्वारा निर्मित एक डिजिटल I/O VME मॉड्यूल है। यह बोर्ड सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण में एक महत्वपूर्ण घटक है और आमतौर पर क्लासिक प्रिसिजन 5000 (P5000) श्रृंखला की मशीनों में उपयोग किया जाता है।
मुख्य विशेषताएँ
कार्य: DI/DO (डिजिटल इनपुट/डिजिटल आउटपुट) इंटरफ़ेस बोर्ड के रूप में, यह मशीन के लॉजिक नियंत्रण संकेतों के संचरण और संसाधन के लिए उत्तरदायी है।
बस आर्किटेक्चर: VME/VXI मॉड्यूल मानकों को अपनाता है और मशीन के मुख्य फ्रेम में एकीकृत किया जाता है।
विद्युत विशिष्टताएँ: आमतौर पर 24 VDC पर संचालित होता है; ऑनबोर्ड LED संकेतक इनपुट/आउटपुट स्थिति की निगरानी करते हैं।
विशिष्टताएँ
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संचालन तापमान: |
0°C से 70°C |
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भंडारण तापमान: |
-20°C से 85°C |
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अलग करना: |
इनपुट और आउटपुट के लिए प्रकाशिक या विद्युत विभाजन |
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लगाना: |
VME 6U या संगत चेसिस स्लॉट |
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अनुपालन: |
VME64 / VXI मानक |
अनुप्रयोग
एप्लाइड मटेरियल्स के 200 मिमी वेफर प्रोसेसिंग उपकरणों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, जिनमें एचिंग, केमिकल वैपर डिपॉजिशन (CVD), और फिजिकल वैपर डिपॉजिशन (PVD) उपकरण शामिल हैं:
एचिंग उपकरण नियंत्रण
0100-11002 का उपयोग 200 मिमी वेफर एचिंग प्रणालियों में सेंसर्स, आरएफ जनरेटर्स और मास फ्लो कंट्रोलर्स के साथ इंटरफ़ेस करने के लिए किया जाता है। यह दबाव, गैस प्रवाह और प्लाज्मा पैरामीटर जैसी प्रक्रिया स्थितियों की निगरानी करता है, जबकि एक्चुएटर्स, वाल्व्स और इंटरलॉक्स को वास्तविक समय में नियंत्रित करके सटीक एचिंग प्रोफाइल सुनिश्चित करता है।
केमिकल वैपर डिपॉजिशन (CVD) उपकरण
CVD प्रणालियों में, यह मॉड्यूल गैस डिलीवरी, तापमान नियंत्रण और सब्सट्रेट हैंडलिंग के लिए डिजिटल सिग्नल्स का प्रबंधन करता है। इसके ऑप्टो-इसोलेटेड इनपुट्स मुख्य नियंत्रक को विद्युत शोर से सुरक्षित रखते हैं, जबकि महत्वपूर्ण प्रक्रिया पैरामीटर्स की विश्वसनीय निगरानी प्रदान करते हैं। डिजिटल आउटपुट्स हीटर्स, गैस वाल्व्स और पंप प्रणालियों को ट्रिगर करते हैं ताकि वेफर्स पर समान पतली फिल्म जमाव को बनाए रखा जा सके।
फिजिकल वैपर डिपॉजिशन (PVD) प्रणालियाँ
PVD उपकरणों के लिए, 0100-11002 समन्वय निक्षेपण स्रोतों, वैक्यूम पंपों और सब्सट्रेट घूर्णन तंत्रों को निर्दिष्ट करता है। उच्च-गति डिजिटल I/O के माध्यम से बहु-कक्षों का समकालन संभव होता है, जिससे 200 मिमी वेफर्स पर फिल्म की मोटाई और एकरूपता को सुसंगत बनाया जा सकता है।
बहु-कक्ष अर्धचालक उपकरण एकीकरण
मॉड्यूल की VME/VXI बस वास्तुकला एकल चैसिस में कई 0100-11002 मॉड्यूलों के एकीकरण को सक्षम बनाती है। यह स्केलेबिलिटी बहु-कक्ष प्रणालियों के नियंत्रण को संभव बनाती है और बड़े पैमाने पर अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरणों में सेंसर्स और एक्चुएटर्स के लिए पर्याप्त I/O चैनल प्रदान करती है।
