EN
- Хойшоо тайлбар
- Шуурхай дэлгэрэнгүй
- Тайлбар
- Гол онцлогууд
- Техникийн шаардлагууд
- Хэрэглээ
- Санал болгож буй бүтээлүүд
Хойшоо тайлбар
Гарал үүсэл: |
АНУ |
Брэндийн нэр: |
AMAT |
Загварын дугаар: |
0100-11002 |
Пакетлэгийн дэлгэрэнгүй мэдээлэл: |
Шинэ, хайрцагт бүрэн баглаа |
Хүргэлтийн хугацаа: |
5-7 өдөр |
Төлбөрийн нөхцөл: |
T/T |
Нийлүүлэлтийн чадвар: |
Нөөцөд |
Шуурхай дэлгэрэнгүй
|
Шинэс архитектур: |
VME / VXI стандарт |
|
Үйл ажиллагаа: |
Машин логик удирдлагын сигналуудыг дамжуулж, боловсруулж |
|
Оролтын электрик хэрэглээ: |
24 VDC |
|
Цифров оролтууд: |
16–32 канал (оптоизолированный) |
|
Цифров гаралтын холболтууд: |
16–32 канал (реле эсвэл транзистор гаралт) |
|
Оролт/гаралт төлөвийн захиарчид: |
Оролт/гаралт канал бүхний хувьд доторх LED-үүд |
|
Хэлбэр: |
8×8,6×26,1 см |
|
Жин: |
0.5 кг |
Тайлбар
AMAT 0100-11002 нь Applied Materials компанийн үйлдвэрлэсэн цифровой оролт/гаралт VME модуль юм. Энэ самбар нь хагасдамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашиглагдаж буй төхөөрөмжийн чухал бүрдүүлэх хэсэг бөгөөд түүн дээр ихэвчлэн Precision 5000 (P5000) цуглуулалтын классик машинууд ашиглагддаг.
Гол онцлогууд
Үүрэг: Цифровой оролт/гаралт (DI/DO) интерфейс самбарын үүрэг нь машин логик удирдлагын сигналуудыг дамжуулах, боловсруулах явдалд оршит.
Шинэслүүр архитектур: VME/VXI модуль стандартыг хүлээн аваад машинны гол хайрцагт интеграци хийдэг.
Цахилгаан техникийн үзүүлэлтүүд: Хувийн 24 В ТХД-д ажилладаг; доторх LED захиарчид оролт/гаралтын төлөвийг хянах үүрэгтэй.
Техникийн шаардлагууд
|
Ажиллах хэмжээ: |
0°C–70°C |
|
Хадгалах температур: |
-20°C-ээс 85°C-т |
|
Ажиллахад зайлшгүй байдал: |
Оролт ба гаралт хувьд оптик эсвэл цахилгаан салгагч |
|
Суурилуулалт: |
VME 6U эсвэл түүнтэй совместим хайрцаг слот |
|
Стандарт: |
VME64 / VXI стандартууд |
Хэрэглээ
Апплид Материалс компаниийн 200 мм дүрсүүрт боловсруулалтын төхөөрөмжид өргөн ашиглагддаг, түүнд шүүлт, химийн ууртмал тунадас (CVD) ба физик ууртмал тунадас (PVD) төхөөрөмжид оршдог:
Шүүлт төхөөрөмжийн удирдлага
0100-11002 загвар нь 200 мм дүрсүүрт шүүлт системд сенсорууд, РЧ генераторууд ба массын урсгалын хяналтчидтой холбогдож ашиглагддаг. Тэр нь даралт, хийн урсгал, плазмын параметрүүд гэх мэт технологийн нөхцлүүдийг хянахад ашиглагддаг, мөн актюаторууд, вентилүүд ба хамгаалалтын холболтуудыг бодит цагт удирдаж, нарийн шүүлтний профилийг хангаж өгдөг.
Химийн ууртмал тунадас (CVD) төхөөрөмжид
CVD системд модуль нь хийн дамжуулалт, температурт хяналт ба дүрсүүрт хандакт хүрээдүүрт цифровой сигналуудыг удирддаг. Түүний опто-изолированнын оролтууд нь гол удирдлагын төхөөрөмжийг цахилгаан шуугианаас хамгаалж, чухал технологийн параметрүүдийг найдвартай хянах боломжийг олгож өгдөг. Цифровой гаралтууд нь халаагчид, хийн вентилүүд ба сүүлдүүрт системүүдийг идэвхжүүрт, дүрсүүрт дээр жигд тонкон зузаан нүүрсний тунадас үүсгэхийн тулд ашиглагддаг.
Физик ууртмал тунадас (PVD) системүүд
PVD хэрэгсэлд 0100-11002 координатын тулгуур нь осаджин бүтээх үүсгүүрүүд, вакуум насосууд, дэд-субстратын эргэлтийн механизмүүдийг тодорхойлдог. Өндөр хурдны цифровой оролт/гаралт нь олон камерийн синхронизацийг хангаж, 200 мм-ийн дисков дээрх төрөлхийн зөөлөн давхаргааны нарийн зүйл ба нэдүүрлүүртүүнийг хангаж өгдөг.
Олон камерийн хагасдамжуулагч төхөөрөмжүүдийн интеграци
Модулийн VME/VXI шинэлт архитектура нь ганц шасси дотор олон 0100-11002 модуль интеграцилахыг хүлээн зөвшөөрдөг. Энэ масштабируем шинэлт нь олон камерийн системүүдийн удирдлагыг хангаж, том масштабын хагасдамжуулагч боловсруулалтын төхөөрөмжүүд дээрх сенсорууд ба актюаторуудын хувьд хангалттай оролт/гаралт каналүүдийг үзүүрлүүртүүн хангаж өгдөг.
