цифровой модуль ввода-вывода VME 0100-11002, Китай — производители, поставщики и заводы цифровых модулей ввода-вывода VME 0100-11002

Обзор

Место происхождения:	США
Название бренда:	AMAT
Номер модели:	0100-11002
Подробности упаковки:	Оригинал, новый, в заводской упаковке
Время доставки:	5-7 дней
Условия оплаты:	T/T
Способность поставки:	В наличии

Быстрая подробность

Архитектура шины:	Стандарт VME/VXI
Функция:	Передача и обработка сигналов логического управления станком
Входное напряжение:	24 В постоянного тока
Цифровые входы:	16–32 канала (оптоизолированные)
Цифровые выходы:	16–32 канала (реле или транзисторные выходы)
Индикаторы состояния ввода/вывода:	Встроенные светодиоды для каждого канала ввода/вывода
Форм-фактор:	8×8,6×26,1 см
Вес:	0.5 кг

Описание

AMAT 0100-11002 — это цифровой модуль ввода/вывода VME, производимый компанией Applied Materials. Данная плата является ключевым компонентом оборудования для производства полупроводников и широко применяется в классических станках серии Precision 5000 (P5000).

Ключевые особенности

Функция: как интерфейсная плата цифрового ввода/вывода (DI/DO), отвечает за передачу и обработку логических управляющих сигналов станка.

Архитектура шины: соответствует стандартам модулей VME/VXI и интегрируется в основной корпус станка.

Электрические характеристики: типичное рабочее напряжение — 24 В постоянного тока; встроенные светодиодные индикаторы отображают состояние входов и выходов.

Технические требования

Рабочая температура:	от 0 °C до 70 °C
Температура хранения:	-20°C до 85°C
Изоляция:	Оптическая или электрическая изоляция входов и выходов
Установка:	Слот шасси VME 6U или совместимый
Соответствие:	Стандарты VME64 / VXI

Области применения

Широко используется в оборудовании Applied Materials для обработки пластин диаметром 200 мм, включая установки для травления, химического осаждения из паровой фазы (CVD) и физического осаждения из паровой фазы (PVD):
Управление оборудованием для травления
Модель 0100-11002 используется для взаимодействия с датчиками, ВЧ-генераторами и контроллерами массового расхода газа в системах травления пластин диаметром 200 мм. Она отслеживает технологические параметры, такие как давление, расход газа и параметры плазмы, а также в реальном времени управляет исполнительными устройствами, клапанами и блокировками для обеспечения точных профилей травления.
Установки химического осаждения из паровой фазы (CVD)
В системах CVD модуль управляет цифровыми сигналами подачи газа, контроля температуры и транспортировки подложек. Его оптопарные входы защищают основной контроллер от электрических помех и обеспечивают надёжный мониторинг критически важных технологических параметров. Цифровые выходы управляют нагревателями, газовыми клапанами и насосными системами для поддержания равномерного осаждения тонких плёнок на пластинах.
Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD)
Для инструментов с физическим осаждением в вакууме (PVD) координаты 0100-11002 определяют источники осаждения, вакуумные насосы и механизмы вращения подложки. Цифровые входы/выходы высокой скорости позволяют синхронизировать работу нескольких камер, обеспечивая стабильную толщину и однородность плёнки на пластинах диаметром 200 мм.
Интеграция полупроводникового оборудования с несколькими камерами
Архитектура модуля на основе шин VME/VXI обеспечивает интеграцию нескольких модулей 0100-11002 в один шасси. Такая масштабируемость позволяет управлять системами с несколькими камерами и предоставляет достаточное количество каналов ввода/вывода для датчиков и исполнительных устройств в крупногабаритных установках для полупроводникового производства.