- 개요
- 빠른 상세 정보
- 제품 설명
- 응용 분야
- 사양
- 경쟁 우위
- 자주 묻는 질문(FAQ)
- 추천 제품
개요
원산지: |
미국 |
브랜드명: |
VARIAN |
모델 번호: |
VME1-2 04-719030-01 |
포장 세부 정보: |
새제품, 공장 밀봉 |
배송 시간: |
5-7일 |
결제 조건: |
T/T |
공급 능력: |
재고 중 |
빠른 상세 정보
|
밸브 피팅 포트 |
관 지름 4 및 M5용 푸시인 피팅(축방향 또는 측면 설치 가능) |
|
액체로 세척하세요 |
윤활제를 첨가하지 않은 여과 공기; 사용 시 윤활은 반드시 연속적으로 수행되어야 함 |
|
종류 |
팝펫식 |
|
버전 |
기계식 및 수동식 |
|
운전자 |
기계식; 플런저; 벽면 장착용 플런저; 롤러 레버; 단방향 롤러 레버 |
|
작동 압력 |
0.5–10 바 |
|
작동 온도 범위 |
-10°~+60°C |
|
공칭 직경 |
2.5mm |
제품 설명
Varian VME1-2 04-719030-01 컨트롤러 보드는 CVD 및 에칭 시스템을 포함한 반도체 웨이퍼 공정 장비용으로 설계되었습니다. VME1-2 04-719030-01은 표준 VMEbus 아키텍처를 사용하여 센서, 액추에이터 및 공정 모듈 간의 디지털 신호를 관리합니다. 이 보드는 최대 유량 60 Nl/min 및 6 바에서 작동력 8 N을 제공하는 플런저 및 롤러 레버를 포함한 기계식 및 수동 밸브 액추에이터를 제어합니다. -10°~+60°C의 작동 온도 범위에서, VME1-2 04-719030-01은 파이프 외경 4 mm 및 M5 규격의 푸시인 피팅과 인터페이스되며, 임의의 설치 위치에서 사용이 가능합니다. 전도도 16.5 Nl/min 및 임계 비율 0.03 바/바를 통해 정밀한 유체 액추에이션을 실현합니다. VME1-2 04-719030-01은 자동화된 공정 제어를 위한 정확한 신호 라우팅을 보장함으로써, 반도체 생산 라인에서 CVD 증착 층, 에칭 시퀀스 및 통합 액추에이터 관리의 신뢰성 있는 작동을 지원합니다.
응용 분야
어플라이드 머티어리얼즈(Applied Materials)에서 사용하는 반도체 웨이퍼 처리 장비, 즉 CVD(화학 기상 증착) 및 에칭(Etch) 시스템 전용으로 특별히 설계됨.
기능
하드웨어 아키텍처: 표준 VMEbus 산업용 버스 규격을 기반으로 하며, 일반적으로 장비의 메인프레임 내부에 설치됨.
기능적 역할: 이 보드는 CPU 또는 시스템 컨트롤러로 작동하여 다양한 처리 모듈, 센서 및 액추에이터 간의 디지털 신호 교환을 조정함.
사양
|
전도도 C |
16.5 Nl/min |
|
임계 비율 b |
0.03 bar/bar |
|
6바르 압력에서의 유량 / P 0.5바르 |
35 Nl/min |
|
6바르 압력에서의 유량 / P 1바르 |
60 NL/min |
|
작동력 - 6바에서 플런저 |
8 N |
|
권장 윤활제 |
ISO 및 UNI FD 22 |
|
설치 |
임의의 위치에서 |
|
유류와의 호환성 |
6.1/08페이지 참조 |
경쟁 우위
고속 VME버스 연동
Varian VME1-2 04-719030-01은 VME버스 산업 표준 아키텍처를 활용하여 여러 모듈 간에 디지털 신호를 교환함으로써 고속 CVD 및 에칭 공정에 대한 제어 반응성을 향상시킨다.
정밀 밸브 제어
전도도 16.5 Nl/min 및 임계 비율 0.03 bar/bar를 갖춘 VME1-2 04-719030-01은 밸브 작동을 정확하게 제어하여 반도체 공정 시스템 내 유체 흐름을 정밀하게 조절할 수 있다.
다용도 기계식 작동 지원
VME1-2 04-719030-01은 플런저, 롤러 레버, 단방향 롤러 레버를 포함한 기계식 및 수동 작동 장치를 지원하여 다양한 공정 모듈에 대해 엔지니어에게 유연한 제어 옵션을 제공합니다.
산업용 등급 환경 내성
VME1-2 04-719030-01은 작동 유체로 여과된 공기를 사용하며 -10°C에서 +60°C까지 신뢰성 있게 작동하므로 반도체 파운드리 환경에서도 지속적인 운전이 가능합니다.
자주 묻는 질문(FAQ)
VARIAN VME1-2 04-719030-01은 무엇입니까?
컨트롤러 보드입니다.
이 제품은 완전히 새 제품입니까?
네, VARIAN VME1-2 04-719030-01은 새 제품이며, 정품이고 미사용 상태이며 공장 밀봉되어 있습니다.
재고 보유 중입니까?
네, 현재 VARIAN VME1-2 04-719030-01을 재고로 보유하고 있으며 즉시 출하가 가능합니다. 영상 검사 서비스도 지원해 드립니다.
왜 이 VME1-2 04-719030-01의 가격을 확인할 수 없습니까?
‘새롭고 정품인’ 단위 외에도
저희는 또한 시장에서 단종된 산업용 자동화 부품 및 구하기 어려운 산업용 자동화 부품의 판매에도 특화되어 있습니다. 이러한 부품들은 시장 가격이 변동성이 크기 때문에, 당사 웹사이트에 게시되는 부품 가격을 매일 정확히 제공하기 어려울 수 있습니다. 따라서 고객 여러분께 항상 최상의 정확한 가격을 제공할 수 있도록, 당사 팀은 문의 건별로 해당 부품을 확보하고 가격을 산정해 드립니다.
표준으로 보증을 제공하시나요?
VME1-2 04-719030-01에 대해 12개월 완전 보증을 제공합니다. 따라서 인도일로부터 12개월 이내에 문제가 발생할 경우, 당사 팀에 문의하시면 친절히 도와드리며 다음 절차에 대해 안내해 드립니다.