ຜະລິດຕະພັນທັງໝົດ

ບ໋ອດ I/O ດິຈິຕອນ 0100-20003

ຂໍ້ມູນທົ່ວໄປ
ລາຍລະອຽດດ່ວນ
ຄຳອະທິບາຍ
ການນຳໃຊ້
ຂໍ້ກຳນົດ
ຄວາມໄດ້ປຽບໃນການແຂ່ງຂັນ
ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆ
ຜະລິດຕະພັນທີ່ແນະນຳ

ຂໍ້ມູນທົ່ວໄປ

ທີ່ມາ:	ສະຫະລັດອາເມລິກາ
ชื่อแบรนด์:	AMAT
หมายเลขรุ่น:	0100-20003
ລາຍລະອຽດການເ泰国:	ແທ້ໝົດ, ຜະລິດຈາກໂຮງງານຜູກມັດ
ເວລາຈັດສົ່ງ:	5-7 ວັນ
ສິນທີ່ຈ່າຍ:	T/T
ຄວາມສາມາດໃນການສະໜອງ:	ມີສິນຄ້າໃນສາງ

ລາຍລະອຽດດ່ວນ

ໝາຍເລກຮຸ່ນ	0100‑20003
ຊື່ຜະລິດຕະພັນ	ບ໋ອດ I/O ດິຈິຕອລ
ປະເທດຜູ້ຜະລິດ	Applied Materials (AMAT)
อุณหภูมิการทำงาน	0 °C … 60 °C (ຂຶ້ນກັບລະບົບ)
ການສະຫນິດແພະຍົງ	ແຜ່ນຫຼັງລະບົບ 24 V DC (ປົກກະຕິ)
ການຟ້ອງເສຍພະລັງງານ	ເຖິງ 8.5 W ຕໍ່ແຕ່ລະມໍດູນ (ສູງສຸດ)
ຄວາມຊົງຈໍາ	16 MB SDRAM, 32 MB Flash (ຂຶ້ນກັບມໍດູນ)
ມິຕິ	147 × 51.5 × 114 mm (ປະມານຕາມການປັບປຸງ)
ນ້ຳໜັກ	0.35 kg (ປະມານປົກກະຕິ)
ການປັບປຸງບ໋ອດ	ປັບປຸງຄັ້ງທີ່ G (ປົກກະຕິໃນລະບົບ P5000)
ການຕິດຕັ້ງ	ເຄື່ອງຈັກຕິດຕັ້ງສະລັອດກາດ VME ຫຼື ບ່ອນຕິດຕັ້ງເຄື່ອງຈັກທີ່ຢູ່ເທິງ backplane
ປະເພດຂອງສິ້ງສັງເກດ	ສັນຍານເຂົ້າດິຈິຕອນຈາກເຊັນເຊີ / ສະວິດຊ໌; ສັນຍານອອກດິຈິຕອນໄປຫາ actuator / ເຮຼີເລ
ກໍລະນີການນໍາໃຊ້	I/O ທີ່ຖືກຜະສົມເຂົ້າດ້ວຍຕົວຄວບຄຸມ PM / etch / clean ສຳລັບອຸປະກອນເຄື່ອງຈັກເຮັດເຄື່ອງເຊມີຄອນດັກເຕີ
ຫນ້າທີ່	ອິນເຕີເຟດສຳລັບການຮັບສັນຍານດິຈິຕອນ ແລະ ການຄວບຄຸມສັນຍານອອກ
ການນຳໃຊ້	ລະບົບຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດສຳລັບອຸປະກອນເຄື່ອງຈັກເຮັດເຄື່ອງເຊມີຄອນດັກເຕີ

ຄຳອະທິບາຍ

ບໍດ I/O ດິຈິຕອນ AMAT 010020003 ສະເໜີການຮັບສັນຍານດິຈິຕອນທີ່ຖືກຕ້ອງແລະການຄວບຄຸມສັນຍານອອກສຳລັບລະບົບອັດຕະໂນມັດເຄື່ອງຈັກເຮັດເຄື່ອງເຊມີຄອນດັກເຕີ. ຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ຮ່ວມກັບເຄື່ອງຈັກ PM, etch ແລະ clean, ບໍດ 010020003 ຈະເຊື່ອມຕໍ່ກັບສັນຍານເຂົ້າດິຈິຕອນຈາກເຊັນເຊີຫຼາຍຊຸດ ແລະ ສັນຍານອອກໄປຫາ actuator ຫຼື ເຮຼີເລ. ບໍດ 010020003 ດຳເນີນງານຈາກ backplane ຂອງລະບົບທີ່ມີຄ່າໄຟຟ້າ 24 V DC, ມີການບໍລິໂພກພະລັງງານສູງສຸດ 8.5 W ແລະ ສະໜັບສະໜູນການເກັບຕົວຢ່າງສັນຍານດິຈິຕອນທີ່ມີຄວາມໄວສູງ. ດ້ວຍ SDRAM 16 MB ແລະ Flash 32 MB, ມັນປະມວນຜົນສັນຍານໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບຜ່ານສະລັອດ VME ຫຼື backplane. ບໍດ 010020003 ທີ່ມີລັກສະນະ modular ນີ້ມີການແຍກການເຊື່ອມຕໍ່ດ້ານໄຟຟ້າດ້ວຍ optocouplers ແລະ ປ້ອງກັນຊ່ອງ I/O ດ້ວຍການປ້ອງກັນຈາກຄ່າໄຟຟ້າເກີນ ແລະ ການລົດລົງຂອງໄຟຟ້າ.

ການນຳໃຊ້

ການຄວບຄຸມການຈັດການເວີເຟີອັດຕະໂນມັດ
AMAT 010020003 ໃຊ້ SDRAM 16 MB ແລະ Flash 32 MB ເພື່ອປະມວນຜົນສັນຍານດິຈິຕອນຄວາມໄວສູງຈາກເຊັນເຊີການຖ່າຍໂອນເວີເຟີ. ດ້ວຍຊ່ອງສຳລັບການປ້ອນຂໍ້ມູນ/ສົ່ງອອກດິຈິຕອນຫຼາຍຊ່ອງ, AMAT 010020003 ສາມາດເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນຂັບເຄື່ອນເຮັດວຽກໄດ້ພາຍໃນບໍ່ເຖິງໜຶ່ງມິລີວິນາທີ, ເຮັດໃຫ້ການຈັດວາງເວີເຟີຢູ່ໃນເຄື່ອງ PM ແລະ ເຄື່ອງແກ້ໄຂດ້ວຍພລາສມາ (etch tools) ມີຄວາມຖືກຕ້ອງແລະແນ່ນອນ. ອຸປະກອນຈ່າຍໄຟຟ້າ DC 24 V ທີ່ຕິດຕັ້ງຢູ່ເບື້ອງຫຼັງຂອງເຄື່ອງ (backplane) ຮັບປະກັນການຈ່າຍພະລັງງານທີ່ສະເໝືອນກັນ, ສູງສຸດ 8.5 W ຕໍ່ໜຶ່ງໆ ແຕ່ລະໝື່ນ.

ການຕິດຕາມການປ້ອນຂໍ້ມູນ/ສົ່ງອອກຂອງຂະບວນການແກ້ໄຂດ້ວຍພລາສມາ
AMAT 010020003 ຕິດຕາມຂໍ້ມູນປ້ອນກັບຄືນດິຈິຕອນຈາກຫ້ອງແກ້ໄຂ (etch chambers) ແລະ ປ່ຽນສະຖານະຂອງ relay ເພື່ອຄວບຄຸມອຸປະກອນເພີ່ມເຕີມ. ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກທີ່ປົກກະຕິ 0–60 °C ແລະ ການແຍກສັນຍານດ້ວຍ optocoupler ໃຫ້ AMAT 010020003 ມີຄວາມເຊື່ອຖືໄດ້ໃນການປະມວນຜົນສັນຍານເຖິງແມ່ນຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງໂຮງງານຜະລິດເຄື່ອງເອເລັກໂຕຣນິກ (industrial fab environments), ໂດຍສາມາດຈັດການເຫດການການປ້ອນຂໍ້ມູນ/ສົ່ງອອກ (I/O events) ຈຳນວນຫຼາຍສິບເຫດການຕໍ່ວິນາທີ.

ການຄວບຄຸມການຈັດສົ່ງເຄມີເຂົ້າຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນ (Clean Room)
AMAT 010020003 ອ່ານສັນຍານເຂົ້າດິຈິຕອລຈາກເຊີນເຊີວັດແທກການຫຼື່ນຂອງເຄມີ ແລະ ຄວບຄຸມວາວເສັ້ນໄຟຟ້າຜ່ານສັນຍານອອກດິຈິຕອລຂອງມັນ. AMAT 010020003 ສາມາດເຊື່ອມຕໍ່ເຂົ້າກັບບ່ອນຕິດຕັ້ງທີ່ມີຂະໜາດນ້ອຍ (compact backplanes) ເພື່ອໃຫ້ການຈັດສົ່ງເຄມີທີ່ຖືກຕ້ອງຢ່າງແນ່ນອນ ໂດຍມີຄວາມເຊື້ອມຕໍ່ສັນຍານຊ້ານ້ອຍທີ່ສຸດ.

ຂໍ້ກຳນົດ

ສາຍເຊື່ອມຕໍ່ I/O	ສາຍເຂົ້າ ແລະ ອອກດິຈິຕອລຫຼາຍຊ່ອງ
ການຕອບສະຫນອງສັນຍານ	ການເກັບຕົວຢ່າງດິຈິຕອລຄວາມໄວສູງ ແລະ ການອອກສັນຍານ
ການແຍກໄຟຟ້າ	ການແຍກສັນຍານດ້ວຍ optocoupler ຫຼື ການແຍກທີ່ເທົ່າທຽນກັນຢູ່ທີ່ສາຍເຊື່ອມຕໍ່ I/O
ການປ້ອງກັນ	ການປ້ອງກັນຈາກຄວາມຕີ່ນເກີນ ແລະ ການລົ້ມສູນ (short-circuit) ຢູ່ທີ່ສາຍເຊື່ອມຕໍ່ I/O
ຄວາມສາມາດໃນການນຳໃຊ້ร່ວມກັນ	ສະຫນັບສະຫນູນເຄື່ອງມືເຊມີຄອນດັກເຕີທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ CVD, PVD, ETCH, ALD
ການປະສົມປະສານ	ການອອກແບບແບບປຸກແລະເຊື່ອມຕໍ່ເຂົ້າກັບບ່ອນຕິດຕັ້ງທີ່ເປັນແທງ (plug-in backplane connection)
ສາຍເຊື່ອມຕໍ່ບ່ອນຕິດຕັ້ງ (Backplane Interface)	ອິນເຕີເຟດລະບົບຄວບຄຸມ AMAT ມາດຕະຖານ
ສິ່ງແວດລໍ່	ເໝາະສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມໃນໂຮງງານຜະລິດ (fab)

ຄວາມໄດ້ປຽບໃນການແຂ່ງຂັນ

ການປະມວນຜົນສັນຍານດິຈິຕອນຢ່າງໄວວາ
AMAT 010020003 ໃຊ້ SDRAM ຈຳນວນ 16 MB ແລະ Flash ຈຳນວນ 32 MB ເພື່ອປະຕິບັດການສຸ່ມຂໍ້ມູນຄວາມໄວສູງຜ່ານທາງຊ່ອງດິຈິຕອນຫຼາຍທາງ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ AMAT 010020003 ສາມາດຕອບສະຫນອງຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງສັນຍານເຂົ້າໄດ້ພາຍໃນບໍ່ເຖິງ 1 ມີລີວິນາທີ, ລົດລ່າຊ້າເວລາຕອບສະຫນອງຂອງອຸປະກອນຂັບເຄື່ອນ ແລະ ປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການ.

ຄວາມຍືດຫຼຸ່ນໃນການບູລະນາການກັບ backplane
AMAT 010020003 ສາມາດຕິດຕັ້ງໄດ້ໃນຊ່ອງ VME ຫຼື backplane ມາດຕະຖານ, ດຳເນີນງານດ້ວຍໄຟຟ້າ DC 24 V ແລະ ມີການດຶງພະລັງງານສູງສຸດ 8.5 W. ການອອກແບບນີ້ເຮັດໃຫ້ AMAT 010020003 ສາມາດຕິດຕັ້ງໃຊ້ງານໄດ້ໂດຍບໍ່ຕ້ອງໃຊ້ອຸປະກອນປ່ຽນແປງພະລັງງານເພີ່ມເຕີມ ແລະ ສະດວກສຳລັບການປ່ຽນແທນແຕ່ລະໆດູນ.

ການປ້ອງກັນຈາກຄ່າໄຟຟ້າເກີນ ແລະ ການລົດລົງສັ້ນ (short-circuit)
ແຕ່ລະຊ່ອງ I/O ຂອງ AMAT 010020003 ແມ່ນຖືກແຍກອອກດ້ວຍ optocouplers ແລະ ມີການປ້ອງກັນຈາກຄ່າໄຟຟ້າເກີນ ຫຼື ການລົດລົງສັ້ນ. AMAT 010020003 ສາມາດຮັບມືກັບຄ່າສັນຍານທີ່ເກີດຂື້ນທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກຳ ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຄວາມສ່ຽງຂອງການຢຸດເຄື່ອງເພື່ອຊ່ວຍໃນຂະບວນການຜະລິດເຊມີຄອນດັກເຕີ.