برد ورودی/خروجی دیجیتال ۰۱۰۰-۲۰۰۰۳، تولیدکنندگان، تأمین‌کنندگان و کارخانه‌های برد ورودی/خروجی دیجیتال ۰۱۰۰-۲۰۰۰۳ در چین

مرور کلی

محل اصل:	ایالات متحده آمریکا
نام تجاری:	AMAT
شماره مدل:	0100-20003
جزئیات بسته‌بندی:	نو اصلی، دربسته‌بندی کارخانه
زمان تحویل:	5 تا 7 روز
شرایط پرداخت:	T/T
توانایی تأمین:	در انبار

جزئیات سریع

شماره مدل	0100‑20003
نام محصول	برد دیجیتال ورودی/خروجی
تولیدکننده	مواد اپلاید (AMAT)
دماي عملکرد	۰ °C تا ۶۰ °C (بسته به سیستم)
منبع تغذیه	باتری پشتی سیستم: ۲۴ ولت جریان مستقیم (معمولی)
مصرف برق	حداکثر ۸٫۵ وات در هر ماژول (حداکثر)
حافظه	۱۶ مگابایت SDRAM، ۳۲ مگابایت فلش (بسته به ماژول)
ابعاد	۱۴۷ × ۵۱٫۵ × ۱۱۴ میلی‌متر (تقریبی، بسته به نسخه)
وزن	۰٫۳۵ کیلوگرم (تقریبی و معمولی)
نسخه برد	نسخهٔ بازبینی‌شده G (معمولاً در سیستم‌های P5000)
نصب	نصب در شیار کارت VME یا برد پشتی
انواع سیگنال	ورودی‌های دیجیتال از سنسورها/کلیدها؛ خروجی‌های دیجیتال به عملگرها/رله‌ها
مورد استفاده	ورودی/خروجی یکپارچه برای ابزارهای فرآیندی نیمه‌هادی PM/اتچ/پاک‌سازی
عملکرد	رابط جمع‌آوری سیگنال‌های دیجیتال و خروجی کنترل
کاربرد	سیستم‌های کنترل اتوماسیون تجهیزات نیمه‌هادی

توضیحات

برد ورودی/خروجی دیجیتال AMAT 010020003، جمع‌آوری دقیق سیگنال‌های دیجیتال و خروجی کنترل را برای سیستم‌های اتوماسیون نیمه‌هادی فراهم می‌کند. این برد طوری طراحی شده است که با ابزارهای PM، اتچ و پاک‌سازی ادغام شود و مدل 010020003 با چندین ورودی دیجیتال از سنسورها و خروجی‌های دیجیتال به عملگرها یا رله‌ها ارتباط برقرار می‌کند. این برد از ولتاژ مستقیم ۲۴ ولت برد پشتی سیستم تغذیه می‌شود، حداکثر ۸٫۵ وات توان مصرف می‌کند و از نمونه‌برداری دیجیتال با سرعت بالا پشتیبانی می‌کند. با ۱۶ مگابایت SDRAM و ۳۲ مگابایت فلش، این برد سیگنال‌ها را به‌طور کارآمد در شیارهای VME یا برد پشتی پردازش می‌کند. برد ماژولار 010020003 از طریق اُپتوکوپلرها عزل الکتریکی ایجاد می‌کند و کانال‌های ورودی/خروجی را با محافظت در برابر اضافه‌ولتاژ و اتصال کوتاه ایمن می‌سازد.

کاربردها

کنترل خودکار دستکاری وفرها
از ریزپردازندهٔ AMAT 010020003 با حافظهٔ SDRAM به ظرفیت ۱۶ مگابایت و حافظهٔ فلش به ظرفیت ۳۲ مگابایت برای پردازش سیگنال‌های دیجیتال پرسرعت دریافتی از سنسورهای انتقال وفر استفاده می‌شود. با وجود چندین کانال ورودی/خروجی دیجیتال، این ماژول AMAT 010020003 در عرض چند میلی‌ثانیه عملگرها را فعال می‌کند و امکان موقعیت‌یابی دقیق وفرها را در ابزارهای ماژول پروسس (PM) و اچ (Etch) فراهم می‌سازد. منبع تغذیهٔ جریان مستقیم ۲۴ ولت DC روی بک‌پِلن این ماژول، تأمین توانی پایدار را تا حداکثر ۸٫۵ وات برای هر ماژول تضمین می‌کند.

پایش ورودی/خروجی فرآیند اچ پلاسما
ماژول AMAT 010020003 بازخورد دیجیتال دریافتی از غرفه‌های اچ را پایش کرده و رله‌ها را جهت کنترل دستگاه‌های کمکی تنظیم می‌کند. دمای کاری معمول این ماژول در محدودهٔ ۰ تا ۶۰ درجه سانتی‌گراد و جداسازی نوری (Optocoupler) آن، امکان پردازش قابل اعتماد سیگنال‌ها حتی در محیط‌های صنعتی فَب را فراهم می‌سازد و توانایی مدیریت ده‌ها رویداد همزمان ورودی/خروجی در هر ثانیه را دارد.

کنترل تحویل مواد شیمیایی در اتاق تمیز
دستگاه AMAT 010020003 ورودی‌های دیجیتال را از سنسورهای جریان شیمیایی می‌خواند و شیرهای سولنوئیدی را از طریق خروجی‌های دیجیتال خود به کار می‌اندازد. دستگاه AMAT 010020003 در پشت‌صفحه‌های فشرده قابل ادغام است و امکان زمان‌بندی دقیق تحویل مواد شیمیایی با حداقل تأخیر سیگنال را فراهم می‌کند.

مشخصات

کانال‌های ورودی/خروجی	چندین کانال ورودی و خروجی دیجیتال
پاسخ سیگنال	نمونه‌برداری و خروجی دیجیتال با سرعت بالا
عایق برق	جداکننده نوری (اُپتوکوپلر) یا معادل آن در پورت‌های ورودی/خروجی
حفاظت	محافظت در برابر اضافه‌ولتاژ و اتصال کوتاه در کانال‌های ورودی/خروجی
سازگاری	از ابزارهای نیمه‌هادی CVD، PVD، ETCH و ALD پشتیبانی می‌کند
ادغام	طراحی ماژولار، اتصال پشت‌صفحه به صورت فشاری (plug-in)
رابط پشت‌صفحه	رابط سیستم کنترل استاندارد AMAT
محیطی	درجه صنعتی برای محیط‌های فاب

مزیت رقابتی

پردازش سریع سیگنال دیجیتال
مدل AMAT 010020003 از ۱۶ مگابایت SDRAM و ۳۲ مگابایت فلش برای انجام نمونه‌برداری با سرعت بالا در چندین کانال دیجیتال استفاده می‌کند. این امکان را فراهم می‌سازد که AMAT 010020003 در عرض چند میلی‌ثانیه به تغییرات ورودی پاسخ دهد، زمان پاسخ‌دهی عملگرها را کاهش داده و دقت کنترل فرآیند را بهبود بخشد.

انعطاف‌پذیری ادغام در بک‌پلین
مدل AMAT 010020003 در شیارهای VME یا شیارهای استاندارد بک‌پلین نصب می‌شود و با ولتاژ ۲۴ ولت جریان مستقیم و حداکثر مصرف توان ۸٫۵ وات کار می‌کند. این طراحی امکان راه‌اندازی AMAT 010020003 را بدون نیاز به تجهیزات اضافی تبدیل توان فراهم می‌سازد و جایگزینی ماژول را ساده می‌کند.

محافظت در برابر اضافه‌ولتاژ و اتصال کوتاه
هر کانال ورودی/خروجی (I/O) در مدل AMAT 010020003 با اُپتوکوپلرها عایق‌بندی شده و در برابر اضافه‌ولتاژ یا اتصال کوتاه محافظت می‌شود. مدل AMAT 010020003 قادر به تحمل نوسانات معمول سیگنال‌های صنعتی است و خطر توقف کار ابزارهای فرآیندی نیمه‌هادی را کاهش می‌دهد.